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1. (WO2010014252) SUPPORT DE GRILLE POUR ANALYSE AU MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE EN TRANSMISSION À BALAYAGE DANS UN INSTRUMENT À PARTICULES CHARGÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/014252    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/004426
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 31.07.2009
CIB :
H01J 37/20 (2006.01), G01N 1/28 (2006.01)
Déposants : OMNIPROBE, INC. [US/US]; 10410 Miller Road Dallas, TX 75238 (US) (Tous Sauf US).
HAMMER, Matthew [US/US]; (US) (US Seulement).
AMADOR, Gonzalo [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HAMMER, Matthew; (US).
AMADOR, Gonzalo; (US)
Mandataire : THOMAS, John; (US)
Données relatives à la priorité :
61/085,630 01.08.2008 US
Titre (EN) GRID HOLDER FOR STEM ANALYSIS IN A CHARGED PARTICLE INSTRUMENT
(FR) SUPPORT DE GRILLE POUR ANALYSE AU MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE EN TRANSMISSION À BALAYAGE DANS UN INSTRUMENT À PARTICULES CHARGÉES
Abrégé : front page image
(EN)A grid holder (100) for STEM analysis in a charged-particle instrument has a base jaw (120) and a pivoting jaw (130). Both jaws (120, 130) have a substantially congruent inclined portion (127, 135). The base jaw (120) has a flat portion (125) for mounting the holder on the sample carousel (220) of a charged-particle instrument, such as a dual beam FIB. The inclined portion of the jaws (127, 135) is inclined to the flat portion (125) of the holder (100) at an angle A approximately equal to the difference between 90 degrees and the angle between the electron beam (260) and the ion beam (240) in the charged-particle instrument. The inclined portion (127, 135) of the jaws (120, 130) has a pocket (200) for receiving and holding a sample grid (110). When a sample is mounted on the grid (110) and the grid (1 10) is held by the grid holder (100), the sample will be correctly oriented for ion-beam thinning when the sample carousel (220) is horizontal. The thinned sample may then be placed perpendicular to the electron beam (260) for STEM analysis by tilting the sample carousel (220) by the same angle A.
(FR)L'invention concerne un support de grille (100) pour analyse au microscope électronique en transmission à balayage dans un instrument à particules chargées qui comporte une mâchoire de base (120) et une mâchoire pivotante (130). Les deux mâchoires (120, 130) possèdent une partie inclinée pratiquement congruente (127, 135). La mâchoire de base (120) possède une partie plate (125) destinée à monter le support sur le carrousel à échantillons (220) d'un instrument à particules chargées tel qu'un faisceau d'ions focalisé à double faisceau. La partie inclinée des mâchoires (127, 135) est inclinée jusqu'à la partie plate (125) du support (100) suivant un angle A approximativement égal à la différence entre 90 degrés et l'angle entre le faisceau d'électrons (260) et le faisceau d'ions (240) dans l'instrument à particules chargées. La partie inclinée (127, 135) des mâchoires (120, 130) comporte une poche (200) destinée à recevoir et supporter une grille d'échantillonnage (110). Lorsqu'un échantillon est monté sur la grille (110) et que la grille est maintenue par le support de grille (100), l'échantillon sera correctement orienté en vue de l'amincissement du faisceau d'ions lorsque le carrousel à échantillons (220) est horizontal. L'échantillon aminci peut ensuite être placé perpendiculairement au faisceau d'électrons (260) en vue de l'analyse au microscope électronique en transmission à balayage en inclinant le carrousel çà échantillons (220) suivant le même angle A.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)