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1. (WO2010014111) APPAREIL D'ENREGISTREMENT DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS, APPAREIL DE COMMANDE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE ASSOCIÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/014111    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/071926
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 01.08.2008
CIB :
G11B 5/82 (2006.01)
Déposants : PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 4-1, Meguro 1-chome Meguro-ku, Tokyo 1538654 (JP) (Tous Sauf US).
PIONEER FA CORPORATION [JP/JP]; 5-7-1 Chiyoda, Sakado-shi, Saitama 350-0286 (JP) (Tous Sauf US).
SUZUKI, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUKUSHIMA, Akio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KASUYA, Takayuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
CARSON, Douglas Marshal [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SUZUKI, Hiroaki; (JP).
FUKUSHIMA, Akio; (JP).
KASUYA, Takayuki; (JP).
CARSON, Douglas Marshal; (US)
Mandataire : SMITH, John, G.; Drinker Biddle & Reath LLP, 1500 K Street, N.W., Suite 1100, Washington, DC 20005 (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ELECTRON BEAM RECORDING APPARATUS, AND CONTROL APPARATUS AND CONTROL METHOD FOR SAME
(FR) APPAREIL D'ENREGISTREMENT DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS, APPAREIL DE COMMANDE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE ASSOCIÉS
Abrégé : front page image
(EN)The present invention comprises a synchronization signal generator for generating a rotation synchronization signal and a translation synchronization signal to produce an operation clock for rotationally driving and translationally driving the substrate; a deflection signal generator for generating a deflection signal for deflecting the electron beam in synchronism with the translation synchronization signal to overwrite the data so that a beam spot of the electron beam is at the same speed and in the same direction as translation of the substrate through a period in which the substrate is rotated a prescribed number of overwriting cycles in synchronism with the rotation synchronization signal; and a data output section for outputting concentric circle pattern data in accordance with the number of overwriting cycles in synchronism with the rotation synchronization signal.
(FR)La présente invention comporte un générateur de signal de synchronisation pour générer un signal de synchronisation de rotation et un signal de synchronisation de translation pour produire une horloge de fonctionnement pour entraîner en rotation et en translation le substrat; un générateur de signal de déviation pour générer un signal de déviation pour dévier le faisceau d'électrons en synchronisme avec le signal de synchronisation de translation pour écraser les données de telle sorte qu'un point de faisceau du faisceau d'électrons est à la même vitesse et dans la même direction qu'une translation du substrat au cours d'une période pendant laquelle le substrat est entraîné en rotation un nombre prescrit de cycles d'écrasement en synchronisme avec le signal de synchronisation de rotation, et une section d'émission de données pour émettre des données de motif de cercles concentriques conformément au nombre de cycles d'écrasement en synchronisme avec le signal de synchronisation de rotation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)