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1. (WO2010013828) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/013828    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/063713
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 28.07.2009
CIB :
B23K 26/36 (2006.01), B23K 26/06 (2006.01)
Déposants : CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP) (Tous Sauf US).
KOKUBO, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KOKUBO, Satoshi; (JP)
Mandataire : OKABE, Masao; (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-199489 01.08.2008 JP
2009-149063 23.06.2009 JP
Titre (EN) PROCESSING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN)In a processing method using laser light, light energy is effectively used and a time necessary for processing is shortened. The processing method includes a basic shape formation step of forming a recess pattern smaller in depth than a recess shape on a surface of a workpiece; and a shape growth step of irradiating the recess pattern with laser light which has a fluence such that the etching rate at a recess bottom surface of the recess pattern is larger than the etching rate on the workpiece surface and has a beam diameter larger than a width of the recess pattern so as to process the recess shape.
(FR)L'invention porte sur un procédé de traitement utilisant une lumière de laser, dans lequel l'énergie de la lumière est utilisée de façon efficace et un temps nécessaire pour le traitement est raccourci. Le procédé de traitement comprend une étape de formation de forme de base consistant à former un motif de creux de profondeur plus petite que celle d'une forme de creux sur une surface d'une pièce à travailler; et une étape de croissance de forme consistant à irradier le motif de creux avec une lumière de laser qui a une fluence telle que le taux de gravure au niveau d'une surface inférieure de creux du motif de creux est supérieur au taux de gravure sur la surface de pièce à travailler, et qui a un diamètre de faisceau supérieur à une largeur du motif de creux de façon à traiter la forme de creux.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)