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1. (WO2010013732) PROCÉDÉ D’ENSEIGNEMENT À UN ROBOT DE TRANSPORT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/013732    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/063468
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 29.07.2009
CIB :
B25J 9/22 (2006.01), G05B 19/42 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
FUJII Yoshinori [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJII Yoshinori; (JP)
Mandataire : SEIGA Patent and Trademark Corporation; 9th Fl., Saisho Bldg. 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-200101 01.08.2008 JP
Titre (EN) METHOD OF TEACHING CONVEYING ROBOT
(FR) PROCÉDÉ D’ENSEIGNEMENT À UN ROBOT DE TRANSPORT
(JA) 搬送ロボットのティーチング方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a low-cost method of teaching a conveying robot wherein teaching can be carried out quickly with high reliability. Conveying operation is taught to a conveying robot which conveys a substrate (S), to be processed between a plurality of chambers (B, C), to a predetermined position by turning and elongating/contracting the substrate (s) in the same plane in a supported state.  When the substrate (S) is conveyed between the chambers (B, C), at least one detection means (2) arranged to detect the substrate (S) is used to let the conveying robot perform a conveying operation, at least one index (16, 17) portion provided previously at the working portion (11, 12) of the conveying robot is detected by the detection means (2), and a reference position serving as the starting point of at least one of the turning and elongating/contracting operations is taught based on the detection positions (2a, 2b).
(FR)L’invention porte sur un procédé peu onéreux d’enseignement à un robot de transport, l’enseignement pouvant être conduit rapidement et avec une fiabilité élevée. L’opération de transport est enseignée à un robot de transport qui transporte un substrat (S), destiné à être traité entre une pluralité de chambres (B, C), vers une position prédéterminée, en faisant tourner et en allongeant/contractant ledit substrat (S) dans le même plan, ledit substrat étant supporté. Lorsque le substrat (S) est transporté entre les chambres (B, C), au moins un moyen de détection (2), agencé pour détecter le substrat (S), est utilisé pour laisser le robot réaliser une opération de transport, au moins une partie contenant des indices (16, 17), fournie auparavant au niveau de la partie de travail (11, 12) du robot de transport, étant détectée par ledit moyen de détection (2), et une position de référence, servant de point de départ à au moins une des opérations de rotation et d’allongement/contraction, est enseignée sur la base des positions de détection (2a, 2b).
(JA)高い信頼性を持って迅速にティーチングができるようにした低コストの搬送ロボットのティーチング方法を提供する。 複数の室(B、C)間で処理すべき基板(S)を支持した状態で同一平面内を旋回及び伸縮動作させて前記基板(S)を所定の位置に搬送する搬送ロボットに対しその搬送動作を教示する。このとき、室(B、C)間で基板(S)を搬送する際に基板(S)を検知するように配置された少なくとも1個の検知手段(2)を用い、搬送ロボットを搬送動作させ、予め前記搬送ロボットの作動部分(11、12)に設けた少なくとも1つの指標(16、17)部を前記検知手段(2)にて検出し、この検知位置(2a、2b)から、前記旋回及び伸縮動作の少なくとも一方の起点となる基準位置を教示する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)