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1. (WO2010013624) BORNE D'INTRODUCTION DE COURANT, APPAREIL DE TRAITEMENT DE SURFACE PAR PLASMA COMPORTANT LA BORNE D'INTRODUCTION DE COURANT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE PAR PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/013624    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/063116
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 22.07.2009
CIB :
H01L 21/205 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
Déposants : MURATA Masayoshi [JP/JP]; (JP)
Inventeurs : MURATA Masayoshi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-197522 31.07.2008 JP
Titre (EN) CURRENT INTRODUCING TERMINAL, PLASMA SURFACE PROCESSING APPARATUS PROVIDED WITH THE CURRENT INTRODUCING TERMINAL, AND PLASMA SURFACE PROCESSING METHOD
(FR) BORNE D'INTRODUCTION DE COURANT, APPAREIL DE TRAITEMENT DE SURFACE PAR PLASMA COMPORTANT LA BORNE D'INTRODUCTION DE COURANT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE PAR PLASMA
(JA) 電流導入端子と、該電流導入端子を備えたプラズマ表面処理装置及びプラズマ表面処理方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a plasma surface processing apparatus and a plasma surface processing method, wherein plasma generation other than that between a pair of electrodes and abnormal discharge are suppressed, power loss is eliminated and large–area and uniform plasma surface processing is made possible, in generation of plasma in the VHF band and application of such plasma to plasma surface processing.  In a current introducing terminal to be used for the plasma surface processing apparatus and method, on a tubular conductor body which penetrates a wall of a vacuum container and is arranged on the wall, two rectangular board-like conductor bodies insulated from each other with a dielectric body are arranged, with one end portion of each rectangular board-like conductor body on the vacuum side, and the other end on the atmosphere side.  The tubular conductor body end portion on the vacuum side and an earth shield box of a balance-unbalance converter are adhered to each other.  The plasma surface processing apparatus is provided with the current introducing terminal.
(FR)L'invention porte sur un appareil de traitement de surface par plasma et sur un procédé de traitement de surface par plasma permettant de supprimer la génération de plasma sinon entre deux électrodes ainsi qu’une décharge anormale ; une perte de puissance ce qui permet le traitement de surface par plasma de zones importantes et uniformes par génération de plasma dans la bande de très haute fréquence (VHF) et application d'un tel plasma à un traitement de surface par plasma. Dans une borne d'introduction de courant à utiliser pour l'appareil et pour le procédé de traitement de surface par plasma, sur un corps conducteur tubulaire qui pénètre une paroi d'un contenant sous vide agencé sur la paroi, sont agencés deux corps de conducteur de type plaque rectangulaire isolés l'un de l'autre par un corps diélectrique, une partie d'extrémité de chaque corps de conducteur de type plaque rectangulaire étant située sur le côté sous vide, l'autre extrémité sur le côté atmosphérique. La partie d'extrémité de corps de conducteur tubulaire située sur le côté sous vide et une boîte de blindage par mise à la masse d'un convertisseur équilibré-déséquilibré sont amenées à adhérer l'une à l'autre. L'appareil de traitement de surface par plasma comporte la borne d'introduction de courant.
(JA) VHF帯域におけるプラズマの生成及びそのプラズマ表面処理への応用において、一対の電極間以外でのプラズマ発生及び異常放電を抑制し、電力損失の防止及び大面積・均一のプラズマ表面処理化が可能であるプラズマ表面処理装置及びプラズマ表面処理方法を提供することを目的とする。プラズマ表面処理装置及び方法に用いられる電流導入端子であって、真空容器の壁を貫通しその壁に設置された管状導体に設置された互いに誘電体で絶縁された2枚の長方形板状導体の一方の端部を真空側に配置し、他方の端部を大気側に配置するとともに、該管状導体の一方の端部と平衡不平衡変換装置のアースシールド箱を密着させるという構成であることを特徴とする電流導入端子。該電流導入端子を備えたことを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)