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1. (WO2010013422) PROCÉDÉ DE COMMANDE DE ROBOT DE TRANSFERT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/013422    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/003486
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 23.07.2009
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B25J 9/16 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
FUJII, Yoshinori [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJII, Yoshinori; (JP)
Mandataire : SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 9th Fl., Saisho Bldg. 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-199675 01.08.2008 JP
Titre (EN) TRANSFER ROBOT CONTROL METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE DE ROBOT DE TRANSFERT
(JA) 搬送ロボットの制御方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a transfer robot control method by which a substrate transfer time can be shortened by shortening a communication time with the transfer robot. A series of operations to be performed by a transfer robot (1) are executed by one command at the time of transferring a substrate (S2) existing in a processing chamber (C) to a predetermined position in a processing chamber (E).  The series of operations may include a swapping operation wherein a substrate (S3) different from a substrate (S1) is transferred to a predetermined position in the processing chamber (C) by means of a robot hand (12a), after the substrate (S2) existing in the processing chamber (C) is taken out by a robot hand (12b).
(FR)L'invention porte sur un procédé de commande de robot de transfert par lequel un temps de transfert de substrat peut être raccourci par raccourcissement d'un temps de communication avec le robot de transfert. Une série d'opérations devant être effectuées par un robot de transfert (1) est exécutée par une seule instruction au moment du transfert d'un substrat (S2) existant dans une chambre de traitement (C) vers une position prédéterminée dans une chambre de traitement (E). La série d'opérations peut comprendre une opération de permutation dans laquelle un substrat (S3) différent d'un substrat (S1) est transféré à une position prédéterminée dans la chambre de traitement (C) au moyen d'une main de robot (12a), après que le substrat (S2) existant dans la chambre de traitement (C) a été prélevé par une main de robot (12b).
(JA) 搬送ロボットの通信時間を削減でき、基板の搬送時間を短縮することが可能な搬送ロボットの制御方法を提供する。 処理室(C)に存する基板(S2)を処理室(E)の所定の位置に搬送する際の搬送ロボット(1)の一連の動作を1つのコマンドで実行する。一連の動作に、処理室(C)に存する基板(S2)をロボットハンド(12b)で取り出した後、基板(S1)とは異なる基板(S3)をロボットハンド(12a)により処理室(C)の所定の位置に受け渡すスワップ動作を含ませてもよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)