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1. (WO2010013348) ENREGISTREUR À FAISCEAUX D'ÉLECTRONS, SON DISPOSITIF DE COMMANDE ET SON PROCÉDÉ DE COMMANDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/013348    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/063907
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 01.08.2008
CIB :
G11B 7/26 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : Pioneer Corporation [JP/JP]; 4-1, Meguro 1-chome, Meguro-ku Tokyo 1538654 (JP) (Tous Sauf US).
SUZUKI, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUKUSHIMA, Akio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KASUYA, Takayuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SUZUKI, Hiroaki; (JP).
FUKUSHIMA, Akio; (JP).
KASUYA, Takayuki; (JP)
Mandataire : FUJIMURA, Motohiko; FUJIMURA PATENT BUREAU, Togeki-Bldg. 1-1, Tsukiji 4-chome, Chuo-ku Tokyo 1040045 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ELECTRON BEAM RECORDER, ITS CONTROLLER, AND CONTROL METHOD
(FR) ENREGISTREUR À FAISCEAUX D'ÉLECTRONS, SON DISPOSITIF DE COMMANDE ET SON PROCÉDÉ DE COMMANDE
(JA) 電子ビーム記録装置及びその制御装置並びに制御方法
Abrégé : front page image
(EN)An electron beam recorder has a storage section for storing a setting value for drawing a pattern piece on the substrate of an electron beam and a modulated signal generator for generating a modulated signal for allowing the electron beam to draw the pattern piece on the substrate on the basis of the setting value. The setting value is defined so that the pattern is constructed of the combination of the pattern pieces.
(FR)L'enregistreur à faisceaux d'électrons selon la présente invention comporte une section de stockage destinée à stocker une valeur de consigne permettant de dessiner un élément de motif sur le substrat d'un faisceau d'électrons et un générateur de signaux modulés destiné à produire un signal modulé permettant au faisceau d'électrons de dessiner l'élément de motif sur le substrat sur la base de la valeur de consigne.  La valeur de consigne est définie de telle sorte que le motif soit constitué de la combinaison des éléments de motif.
(JA) 電子ビームの当該基板上にパターン片を描画するための設定値を記憶する記憶部と、当該設定値に基づいて、パターン片を電子ビームにより基板へ描画を行う変調信号を生成する変調信号生成器と、を有し、当該設定値は、複数のパターン片の組合せによって当該パターンが構成されるように定められている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)