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1. (WO2010013288) DISPOSITIF DE BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/013288    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/002057
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 31.07.2008
CIB :
G01N 13/10 (2006.01)
Déposants : Shimadzu Corporation [JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi Kyoto, 6048511 (JP) (Tous Sauf US).
OHTA, Masahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OYABU, Noriaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KIMURA, Kenjiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IDO, Shinichiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KOBAYASHI, Kei [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMADA, Hirofumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUSHIGE, Kazumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OHTA, Masahiro; (JP).
OYABU, Noriaki; (JP).
KIMURA, Kenjiro; (JP).
IDO, Shinichiro; (JP).
KOBAYASHI, Kei; (JP).
YAMADA, Hirofumi; (JP).
MATSUSHIGE, Kazumi; (JP)
Mandataire : KOBAYASI, Ryohei; KOBAYASI PATENT & TRADEMARK, 7th Floor, Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto, 6008091 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SCAN DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE BALAYAGE
(JA) 走査装置
Abrégé : front page image
(EN)A probe needle (2) is successively moved to a plurality of measurement points set in a measurement region on a sample (S) so as to measure a z-displacement amount. An excitation control unit (4) feedback-controls a piezoelectric element (3) so that a vibration amplitude of a cantilever (1) is constant in accordance with the detection output by a displacement detection unit (8). Moreover, a vertical displacement control unit (11) feedback-controls a vertical position scan unit (6) so as to obtain a constant distance between the probe needle (2) and the sample (S) according to a frequency shift by a frequency detection unit (9). When changes of outputs of two feedback loops at a certain measurement point are both within a predetermined range, a main control unit (12) issues an instruction to a horizontal position control unit (11) to rapidly move to the next measurement point. As a result, it is possible to adaptively decide such a measurement time that both of the two feedback controls at respective measurement points are established. This eliminates an unnecessary measurement time, which in turn reduces the time required for creating one convex/concave image as compared to the conventional technique and improves the throughput.
(FR)Selon l'invention, une aiguille de sonde (2) est déplacée de façon successive vers une pluralité de points de mesure définis dans une région de mesure sur un échantillon (S) de façon à mesurer une quantité de déplacement selon z. Une unité de commande d'excitation (4) commande par rétroaction un élément piézoélectrique (3) de telle sorte que l'amplitude de vibration d'un cantilever (1) est constante selon la sortie de détection par une unité de détection de déplacement (8). De plus, une unité de commande de déplacement vertical (11) commande par rétroaction une unité de balayage de position verticale (6) de façon à obtenir une distance constante entre l'aiguille de sonde (2) et l'échantillon (S) selon une fréquence décalée par une unité de détection de fréquence (9). Lorsque des changements des sorties des deux boucles de rétroaction à un certain point de mesure sont toutes deux à l'intérieur d'une gamme prédéterminée, une unité de commande principale (12) fournit en sortie une instruction à une unité de commande de position horizontale (11) de se déplacer rapidement vers le point de mesure suivant. Par conséquent, il est possible de décider de manière adaptée d'un temps de mesure tel que les deux commandes de rétroaction à des points de mesure respectifs sont établies. Ceci élimine un temps de mesure non nécessaire, ce qui à son tour réduit le temps requis pour créer une image convexe/concave par comparaison à la technique classique et améliore le débit de traitement.
(JA) 試料(S)上の測定領域内に設定された複数の測定点上に順次、探針(2)を移動させてz変位量を測定する際に、加振制御部(4)は変位検出部(8)による検出出力に基づいてカンチレバー(1)の振動振幅が一定になるように圧電素子(3)をフィードバック制御する。また、垂直位置制御部(11)は周波数検出部(9)による周波数シフトに基づいて、探針(2)と試料(S)との間の距離を一定にするように垂直位置走査部(6)をフィードバック制御する。主制御部(12)は、或る測定点において2つのフィードバックループの出力の変化がいずれも所定範囲に収まったならば、速やかに次の測定点に移動するように水平位置制御部(11)に指令を出す。その結果、各測定点で2つのフィードバック制御の両方が静定するような測定時間が適応的に決定され、無駄な測定時間がなくなる。それにより、1枚の凹凸画像を作成するために必要な時間が従来よりも短くなり、スループットが向上する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)