WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2010013167) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME OU DE RAYONS X MOUS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/013167    N° de la demande internationale :    PCT/IB2009/053146
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 21.07.2009
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH [DE/DE]; Lübeckertordamm 5 20099 Hamburg (DE) (DE only).
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N. V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1 NL-5621 BA Eindhoven (NL) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastr. 27 c 80686 München (DE) (DE only).
XTREME TECHNOLOGIES GMBH [DE/DE]; Steinbachstrasse 15, D-52074 Aachen (DE) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
NEFF, Jakob, W. [DE/BE]; (NL) (US Seulement).
VAUDREVANGE, Dominik, M. [DE/DE]; (NL) (US Seulement).
ZINK, Peter [DE/DE]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : NEFF, Jakob, W.; (NL).
VAUDREVANGE, Dominik, M.; (NL).
ZINK, Peter; (NL)
Mandataire : BEKKERS, Joost; High Tech Campus 44 NL-5656 AE Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
08104888.6 28.07.2008 EP
Titre (EN) METHOD AND DEVICE FOR GENERATING EUV RADIATION OR SOFT X-RAYS
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME OU DE RAYONS X MOUS
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a method and device for generating optical radiation, in particular EUV radiation or soft x-rays, by means of an electrically operated discharge. A plasma (15) is ignited in a gaseous medium between at least two electrodes (1, 2), wherein said gaseous medium is produced at least partly from a liquid material (6) which is applied to a surface moving in the discharge space and is at least partially evaporated by one or several pulsed energy beams. In the proposed method and device the pulses (9) of said pulsed energy beams are directed to at least two different lateral locations with respect to a moving direction of said surface. With this measure, the radiation emission volume is expanded, less sensitive to spatial fluctuations and can be adapted better to the requirements of optical systems of any applications. Furthermore, the optical output power can be increased by this measure.
(FR)La présente invention porte sur un procédé et un dispositif pour générer un rayonnement optique, en particulier un rayonnement ultraviolet extrême ou des rayons X mous, au moyen d'une décharge provoquée électriquement. Un plasma (15) est amorcé dans un milieu gazeux entre au moins deux électrodes (1, 2), ledit milieu gazeux étant produit au moins partiellement à partir d'un matériau liquide (6) qui est appliqué sur une surface se déplaçant dans l'espace de décharge et est au moins partiellement évaporé par un ou plusieurs faisceaux d'énergie pulsés. Dans le procédé et le dispositif proposés, les impulsions (9) desdits faisceaux d'énergie pulsés sont dirigées vers au moins deux emplacements latéraux différents par rapport à une direction de déplacement de ladite surface. Avec cette mesure, le volume d'émission de rayonnement est agrandi, moins sensible à des fluctuations spatiales et peut être mieux adapté aux exigences de systèmes optiques de n'importe quelles applications. En outre, la puissance de sortie optique peut être augmentée par cette mesure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)