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1. (WO2010012588) SOURCE DE RAYONNEMENT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/012588    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/059045
Date de publication : 04.02.2010 Date de dépôt international : 15.07.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; De Run 6501 NL-5504 DR Veldhoven (NL) (Tous Sauf US).
KLAASSEN, Michel [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
GROENEVELD, Rogier [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
STRUYCKEN, Alexander [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
SWINKELS, GerardusHubertus [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : KLAASSEN, Michel; (NL).
GROENEVELD, Rogier; (NL).
STRUYCKEN, Alexander; (NL).
SWINKELS, GerardusHubertus; (NL)
Mandataire : SLENDERS, Peter; De Run 6504 NL-5504 DR Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/084,759 30.07.2008 US
61/092,443 28.08.2008 US
Titre (EN) RADIATION SOURCE, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) SOURCE DE RAYONNEMENT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)A lithographic apparatus (1) includes a source module (SO) including a collector (CO) and a radiation source (105), the collector (CO) configured to collect radiation from the radiation source (105); an illuminator (IL) configured to condition the radiation, collected by the collector (CO) and to provide a radiation beam; and a detector (301) disposed in a fixed positional relationship with respect to the illuminator (IL), the detector (301) configured to determine a position of the radiation source (105) relative to the collector (CO) and a position of the source module (SO) relative to the illuminator (IL).
(FR)La présente invention concerne un appareil lithographique (1) comprenant un module source (SO) incluant un collecteur (CO) et une source de rayonnement (105), le collecteur (CO) étant configuré de façon à recueillir le rayonnement provenant de la source de rayonnement (105). Le module source (SO) comprend également un illuminateur (IL) configuré de façon à conditionner le rayonnement recueilli par le collecteur (CO) et à donner un faisceau de rayonnement. Le module source (SO) comprend enfin un détecteur (301) disposé dans une relation de position fixe par rapport à l'illuminateur (IL), le détecteur (301) étant configuré de façon, d'une part à déterminer une position de la source de rayonnement par rapport à l'illuminateur (IL), et d'autre part à déterminer une position de la source de rayonnement (105) par rapport au collecteur (CO) ainsi qu'une position du module source (SO) par rapport à l'illuminateur (IL).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)