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N° de publication :    WO/2010/010688    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/003413
Date de publication : 28.01.2010 Date de dépôt international : 21.07.2009
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
FUJII, Yoshinori [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJII, Yoshinori; (JP)
Mandataire : SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION; 9th Fl., Saisho Bldg. 1-14, Nishi-Gotanda 8-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1410031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-190629 24.07.2008 JP
(JA) 処理装置の作動監視システム
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a treating device comprising movable parts provided in order to establish a predetermined treating environment in a treating chamber in which an object to be treated is subjected to a predetermined treatment, and a control means (5) for controlling the actions of the individual movable parts, wherein an easy judgment can be made on an abnormality containing the aging of the movable parts constituting the treating device.  The treating device further comprises a vibration detecting means (7) for detecting the waveform of vibrations which occur in accordance with the actions of the movable parts.  If the control from the control means (5) is made to operate any of the movable parts, there are acquired event data corresponding to the control and the waveform of the vibrations of all movable parts acting at the time.  Each time the control corresponding to the event data is selected or if the waveform of the vibrations according to other event data of the same kind as that of the aforementioned event data is acquired, the change in the waveform is monitored to judge the abnormality of the treating device if the waveform changes over a predetermined range.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de traitement comprenant des parties mobiles prévues pour établir un environnement de traitement prédéfini dans une chambre de traitement dans laquelle un objet devant être traité est soumis à un traitement prédéfini, ainsi qu'un moyen de commande (5) permettant de commander les actions des parties mobiles dissociées. L'invention permet une évaluation aisée d'une anomalie relative au vieillissement des parties mobiles faisant partie du dispositif de traitement. Le dispositif de traitement comprend en outre un moyen de détection de vibrations (7) permettant de détecter la forme d'onde des vibrations qui se produisent en fonction des actions des parties mobiles. Si la commande provenant du moyen de commande (5) est destinée à actionner l'une quelconque des parties mobiles, le dispositif procède à l'acquisition de données d'événement correspondant à la commande et à la forme d'onde des vibrations de toutes les parties mobiles alors en action. A chaque fois que la commande correspondant aux données d'événement est sélectionnée, ou en cas d'acquisition de la forme d'onde des vibrations en fonction d'autres données d'événement du même type que celui des données d'événement susmentionnées, la modification de la forme d'onde est contrôlée de façon à évaluer l'anomalie du dispositif de traitement si la forme d'onde se modifie sur une plage prédéfinie.
(JA) 処理対象物に対し所定の処理を施す処理室内で所定の処理環境を形成するために設けられている可動部品と、各可動部品の作動を制御する制御手段(5)とを備えた処理装置において、簡単に処理装置を構成する可動部品の経時変化を含む異常を判断することができるようにする。前記可動部品の作動に伴い発生する振動の波形を検出する振動検知手段(7)を設ける。可動部品のいずれかを作動すべく制御手段(5)からの制御が行われた場合、制御に応じたイベントデータと、そのときに作動している全可動部品の振動の波形とを取得する。イベントデータに応じた制御が選択される毎に、または前記イベントデータと同種の他のイベントデータに応じた振動の波形が取得されている場合に、前記波形の変化を監視し、当該波形が所定の範囲を超えて変化していると、処理装置の異常を判断する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)