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1. (WO2010009048) DIFFUSEUR EN FORME DE TUBE POUR CHAMBRE DE CHARGEMENT-DÉCHARGEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/009048    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/050402
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 13.07.2009
CIB :
C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
BEHDJAT, Mehran [US/US]; (US) (US Seulement).
KURITA, Shinichi [JP/US]; (US) (US Seulement).
INAGAWA, Makoto [JP/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BEHDJAT, Mehran; (US).
KURITA, Shinichi; (US).
INAGAWA, Makoto; (US)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; (US)
Données relatives à la priorité :
61/080,929 15.07.2008 US
Titre (EN) TUBE DIFFUSER FOR LOAD LOCK CHAMBER
(FR) DIFFUSEUR EN FORME DE TUBE POUR CHAMBRE DE CHARGEMENT-DÉCHARGEMENT
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments disclosed herein generally provide a load lock chamber capable of controlling the temperature of the substrate therein. The load lock chamber may have one or more cooling fluid introduction passages that extend across the chamber. Cooling fluid, such as nitrogen gas, may flow through the cooling fluid passage and enter the load lock chamber. The cooling fluid passages may have openings to permit the cooling fluid to exit the passages and enter the load lock chamber. The openings may be arranged to permit a greater amount of cooling fluid to enter the load lock at locations corresponding to the substrate positions that are in contact with an end effector that places the substrate into the load lock chamber. Additionally, the openings may be arranged to permit a greater amount if cooling fluid to enter the load lock chamber in the center of the chamber as compared to the edge of the chamber.
(FR)L’invention concerne une chambre de chargement-déchargement permettant de contrôler la température du substrat disposé à l’intérieur de celle-ci. La chambre de chargement-déchargement peut présenter un ou plusieurs passages d’introduction de fluide de refroidissement qui s’étendent dans toute la chambre. Le fluide de refroidissement, tel que l’azote gazeux, peut s’écouler au travers du passage de fluide de refroidissement et pénètre dans la chambre de chargement-déchargement. Les passages de fluide de refroidissement peuvent présenter des ouvertures afin de permettre au fluide de refroidissement de sortir des passages et pénétrer dans la chambre de chargement-déchargement. Les ouvertures peuvent être disposées de telle sorte à permettre à une plus grande quantité de fluide de refroidissement de pénétrer dans la chambre de chargement-déchargement à des endroits correspondant aux positions du substrat qui sont en contact avec un organe effecteur qui place le substrat dans la chambre de chargement-déchargement. En outre, les ouvertures peuvent être disposées de telle sorte à permettre à une plus grande quantité de fluide de refroidissement de pénétrer dans la chambre de chargement-déchargement au centre de la chambre par rapport au bord de la chambre.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)