WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2010008747) AXE DE LEVAGE À GRAND PIED
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/008747    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/047690
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 17.06.2009
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
DU BOIS, Dale, R. [US/US]; (US) (US Seulement).
FODOR, Mark, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
JANAKIRAMAN, Karthik [IN/US]; (US) (US Seulement).
ROCHA-ALVAREZ, Juan, Carlos [MX/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DU BOIS, Dale, R.; (US).
FODOR, Mark, A.; (US).
JANAKIRAMAN, Karthik; (US).
ROCHA-ALVAREZ, Juan, Carlos; (US)
Mandataire : PATTERSON, Todd, B.; (US)
Données relatives à la priorité :
61/075,225 24.06.2008 US
12/483,845 12.06.2009 US
Titre (EN) BIG FOOT LIFT PIN
(FR) AXE DE LEVAGE À GRAND PIED
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments described herein generally provide a lift pin assembly having increased wafer placement accuracy, repeatability, reliability, and corrosion resistance. In one embodiment, a lift pin assembly for positioning a substrate relative to a substrate support is provided. The lift pin assembly comprises a lift pin comprising a pin shaft, a pin head coupled with a first end of the pin shaft for supporting the substrate, and a shoulder coupled with a second end of the pin shaft. The lift pin assembly further comprises a cylindrical body slidably coupled with the pin shaft and a locking pin for preventing the cylindrical body from sliding along the shaft, wherein the shoulder has a through-hole dimensioned to accommodate the locking pin.
(FR)L’invention concerne un ensemble d’axe de levage présentant une précision de placement de galette, une reproductibilité, une fiabilité et une résistance à la corrosion accrues. Dans un mode de réalisation, l’invention concerne un ensemble d’axe de levage pour positionner un substrat par rapport à un support de substrat. L’ensemble d’axe de levage comprend une axe de levage comprenant un arbre d’axe, une tête d’axe couplée à une première extrémité de l’arbre d’axe pour supporter le substrat, et un épaulement couplé à une deuxième extrémité de l’arbre d’axe. L’ensemble d’axe de levage comprend en outre un corps cylindrique qui est couplé de façon coulissante à l’arbre d’axe, et une broche de verrouillage pour empêcher le corps cylindrique de coulisser le long de l’arbre, dans lequel l’épaulement comporte un trou traversant dimensionné pour recevoir la broche de verrouillage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)