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1. (WO2010008458) FILTRE À ÉNERGIE MAGNÉTIQUE POST-DÉCÉLÉRATION POUR SYSTÈMES D’IMPLANTATION D’IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/008458    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/003722
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 23.06.2009
CIB :
H01J 37/05 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Denis Robitaille 108 Cherry Hill Drive Beverly, MA 01915 (US) (Tous Sauf US).
RYDING, Geoffrey [US/US]; (US) (US Seulement).
FARLEY, Marvin [US/US]; (US) (US Seulement).
VANDERBERG, Bo [SE/US]; (US) (US Seulement).
SMICK, Theodore [US/US]; (US) (US Seulement).
SAKASE, Takao [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : RYDING, Geoffrey; (US).
FARLEY, Marvin; (US).
VANDERBERG, Bo; (US).
SMICK, Theodore; (US).
SAKASE, Takao; (US)
Données relatives à la priorité :
61/075,657 25.06.2008 US
Titre (EN) POST-DECEL MAGNETIC ENERGY FILTER FOR ION IMPLANTATION SYSTEMS
(FR) FILTRE À ÉNERGIE MAGNÉTIQUE POST-DÉCÉLÉRATION POUR SYSTÈMES D’IMPLANTATION D’IONS
Abrégé : front page image
(EN)A system (200) and method for magnetically filtering an ion beam (210) during an ion implantation into a workpiece (228) is provided, wherein ions are emitted from an ion source (212) and accelerated the ions away from the ion source to form an ion beam. The ion beam is mass analyzed by a mass analyzer (214), wherein ions are selected. The ion beam is then decelerated via a decelerator (242) once the ion beam is mass-analyzed, and the ion beam is further magnetically filtered downstream of the deceleration. The magnetic filtering is provided by a quadrapole (quadrupole) magnetic energy filter (250), wherein a magnetic field is formed for intercepting the ions in the ion beam exiting the decelerator to selectively filter undesirable ions and fast neutrals (264).
(FR)L'invention concerne un système (200) et un procédé de filtrage magnétique d’un faisceau d’ions (210) pendant une implantation d’ions dans une pièce de travail (228), des ions étant émis à partir d’une source d’ions (212) et accélérés en les éloignant de la source d’ions pour former un faisceau d’ions. Ledit faisceau d’ions est analysé par un analyseur de masse (214), où des ions sont sélectionnés. Le faisceau d’ions est alors décéléré via un décélérateur (242) une fois que le faisceau d’ions a fait l’objet de l’analyse de masse, et le faisceau d’ions est en outre filtré magnétiquement en aval du décélérateur. Le filtrage magnétique est assuré par un filtre à énergie magnétique quadripôle (250), un champ magnétique étant formé pour intercepter les ions du faisceau d’ions quittant le décélérateur afin de filtrer sélectivement des ions indésirables et des particules neutres rapides (264).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)