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1. (WO2010008307) MODULE DE DÉTECTION D'ÉLECTRONS ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/008307    N° de la demande internationale :    PCT/PL2009/000073
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 13.07.2009
CIB :
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/18 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Déposants : POLITECHNIKA WROCLAWSKA [PL/PL]; Wybrzeze Stanislawa Wyspianskiego 27 PL-50-370 Wroclaw (PL) (Tous Sauf US).
SLOWKO, Witold [PL/PL]; (PL) (US Seulement)
Inventeurs : SLOWKO, Witold; (PL)
Mandataire : KOZLOWSKA, Regina; Dzial Wlasnosci Intelektualnej i Informacji Patentowej POLITECHNIKA WROCLAWSKA Wybrzeze Stanislawa Wyspiaήskiego 27 50-370 Wroclaw (PL)
Données relatives à la priorité :
385656 14.07.2008 PL
Titre (EN) ELECTRON DETECTION UNIT AND A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MODULE DE DÉTECTION D'ÉLECTRONS ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Abrégé : front page image
(EN)The subject of the invention is a electron detector unit and a scanning electron microscope equipped with this unit, destined particularly for detection of low energy secondary electrons at the pressures range from values lower than 0.1 Pa to values exceeding 1000 Pa in the sample chamber. Electron detector unit, destined particularly for a scanning electron microscope with variable gas pressure P1 in the sample chamber contains the intermediate chamber (13 ) of a differential vacuum system where the differential pressure P2 is maintained. The intermediate chamber (13 ) is arranged under the objective lens ( 9 ) of the scanning electron microscope and sealed with a gasket ( 30 ). In a hole made in a side part of the intermediate chamber (13 ), a main light guide ( 11 ) in the form of a bar made of poly methyl methacrylate (PMMA) is fastened hermetically. Inside the intermediate chamber (13 ), a screening sleeve ( 4 ) in a shape of a cut cone is secured with use of insulating insertions. In the neighborhood of the lower hole of the screening tube ( 4 ), an anode ( 5 ) in the form of a metal ring covered with a thin layer of scintillator ( 5 ) a is arranged and electrically separated. In the lower part of the intermediate chamber ( 13 ) is a hole screened by a lower throttling aperture ( 5 ) of small diameter being sealed with an insulating interlay ( 29 ). The screening tube ( 4 ) and anode ( 5 ) and the lower throttling aperture (15 ) are placed coaxially with the electron optical axis EOA along which the electron beam EB passes. On the lower throttling aperture ( 15 ), a repelling aperture ( 31 ) made of metal foil well reflecting light is fastened with use of an insulating interlay ( 29 ). Diameter of the opening of the repelling aperture ( 31 ) is larger than that of the lower throttling aperture (15 ) and its symmetry axis is shifted aside the electron optical axis EOA toward the main light guide (11 ).
(FR)L'invention concerne un module de détection d'électrons et un microscope électronique à balayage équipé de ce module, destinés particulièrement à la détection d'électrons secondaires à faible énergie dans une plage de pressions allant de valeurs inférieures à 0,1 Pa à des valeurs supérieures à 1000 Pa dans la chambre d'échantillonnage. Le module de détection d'électrons, destiné particulièrement à un microscope électronique à balayage avec pression de gaz variable P1 dans la chambre d'échantillonnage, contient la chambre intermédiaire (13) d'un circuit de vide différentiel dans lequel est maintenue la pression différentielle P2. La chambre intermédiaire (13) est disposée sous l'objectif (9) du microscope électronique à balayage et est obturée hermétiquement par un joint (30). Dans un trou réalisé dans une pièce latérale de la chambre intermédiaire (13), un guide lumineux principal (11), constitué d'une barre de polyméthacrylate de méthyle (PMMA), est fixé de façon hermétique. À l'intérieur de la chambre intermédiaire (13), un manchon de filtrage (4) de forme tronconique est fixé à l'aide d'inserts isolants. Au voisinage de l'orifice inférieur du tube de filtrage (4), une anode (5) en forme d'anneau métallique recouvert d'une fine couche de scintillateur (5a), est disposée et séparée électriquement. Dans la partie inférieure de la chambre intermédiaire (13), on trouve un orifice protégé par une ouverture d'étranglement inférieure (15) de petit diamètre, obturée hermétiquement par un élément intermédiaire isolant (29). Le tube de filtrage (4) et l'anode (5), ainsi que l'ouverture d'étranglement inférieure (15), sont placés de façon coaxiale avec l'axe optique électronique (EOA) le long duquel passe le faisceau d'électrons (EB). Sur l'ouverture d'étranglement inférieure (15), une ouverture « repoussoir » (31) en feuillard métallique réfléchissant bien la lumière est fixée à l'aide de l'élément intermédiaire isolant (29). Le diamètre de l'ouverture « repoussoir » (31) est plus grand que celui de l'ouverture d'étranglement inférieure (15) et son axe de symétrie est décalé sur le côté de l'axe optique électronique (EOA), vers le guide lumineux principal (11).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)