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1. (WO2010008124) POUDRE D'OXYDE DE CÉRIUM PRÉSENTANT UNE GRANDE PURETÉ, PROCÉDÉ DE PRÉPARATION CORRESPONDANT ET BOUE CMP CONTENANT UNE TELLE POUDRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/008124    N° de la demande internationale :    PCT/KR2009/001369
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 18.03.2009
CIB :
C01F 17/00 (2006.01)
Déposants : NEW WELL [KR/KR]; 1st Fl. Daejeon Technopark 694 Tabrib-dong, Yusung-gu Daejeon 305-510 (KR) (Tous Sauf US).
LEE, Seung Joo [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : LEE, Seung Joo; (KR)
Mandataire : BAIK, Kyong Up; (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2008-0069154 16.07.2008 KR
Titre (EN) HIGH PURITY CERIUM OXIDE POWDER, PREPARATION METHOD THEREOF, AND CMP SLURRY CONTAINING THE SAME
(FR) POUDRE D'OXYDE DE CÉRIUM PRÉSENTANT UNE GRANDE PURETÉ, PROCÉDÉ DE PRÉPARATION CORRESPONDANT ET BOUE CMP CONTENANT UNE TELLE POUDRE
(KO) 고순도 산화세륨 분말 그 제조 방법 및 이를 포함하는 씨엠피 슬러리
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a method for preparing cerium oxide (CeO2) by forming high purity cerium nitrate hydrate (Ce(NO3)3·6H2O) which is an intermediate. More specifically, the method for preparing cerium oxide comprises: recovering precipitates by titrating sodium hydroxide in a cerium chloride composition and separating supernatants and precipitates; obtaining solid cerium precursors by finely spraying and filtering an excess of purified water, wherein the spraying and filtering process is performed to reduce praseodymium (Pr) contained in the precipitates; and obtaining cerium oxide using cerium nitrate hydrate formed by titrating nitric acids in the cerium precursors. In addition, the present invention provides high purity cerium oxide powder, a preparation method thereof, and CMP slurry containing the same. The cerium oxide is prepared using cerium nitrate hydrate as an intermediate, wherein the purity of the cerium nitrate hydrate is increased through purification by titrating sodium hydroxide and washing by finely spraying an excess of purified water, so the high purity cerium oxide powder contains virtually no impurities of various rare-earth elements, especially praseodymium which has an adverse effect on properties of CMP slurry.
(FR)La présente invention concerne un procédé permettant de préparer de l'oxyde de cérium (CeO2) par formation d'hydrate de nitrate de cérium (Ce(NO3)3·6H2O) d'une grande pureté, lequel est un produit intermédiaire. Plus spécifiquement, le procédé permettant de préparer l'oxyde de cérium consiste: à récupérer des précipités par titrage d'hydroxyde de sodium dans une composition de chlorure de cérium puis à séparer les surnageants et les précipités; à obtenir des précurseurs de cérium solides par pulvérisation fine et filtrage de l'excès d'eau purifiée, le procédé de filtrage et pulvérisation est exécuté de manière à réduire le praséodyme (Pr) contenu dans les précipités; puis à obtenir de l'oxyde de cérium au moyen d'hydrate de nitrate de cérium formé par titrage d'acides nitriques dans les précurseurs de cérium. En outre, cette invention concerne une poudre d'oxyde de cérium d'une grande pureté, un procédé de préparation correspondant et une boue CMP contenant une telle poudre. L'oxyde de cérium est préparé au moyen d'hydrate de nitrate de cérium en tant que produit intermédiaire, la pureté de l'hydrate de nitrate de cérium est améliorée par purification par titrage d'hydroxyde de sodium et nettoyage par pulvérisation fine d'un excès d'eau purifiée, de telle sorte que la poudre d'oxyde de cérium d'une grande pureté ne contienne pratiquement aucune impureté de divers éléments de terres rares, plus spécialement le praséodyme, lequel a des effets indésirables sur les propriétés de la boue CMP.
(KO)본 발명은 중간물질인 세륨나이트레이트 수화물(Ce(NO3)3·6H2O)을 고순도로 형성하여 산화세륨(CeO2)을 제조하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세륨클로라이드 조성물에 수산화나트륨을 적정하여 상등액과 침전물로 구분하여 상기 침전물을 회수하고, 상기 침전물에 함유된 프라세오디움(Pr)을 저감하도록 과량의 정제수를 미세분사하고 여과하여 고상의 세륨 전구체를 수득하고, 상기 세륨 전구체에 질산을 적정하여 형성되는 세륨나이트레이트 수화물을 사용하여 산화세륨을 제조하며, 수산화나트륨 적정에 의한 정제 및 과량의 정제수의 미세 분사에 의한 수세에 의해 고순도화된 세륨나이트레이트 수화물을 중간물질로 사용하여 제조되므로, 각종 희토류 원소인 불순물 특히 CMP 슬러리의 물성에 심각한 악영향을 미치는 프라세오디움이 거의 함유되지 않는 고순도의 산화세륨 분말, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 CMP 슬러리를 제공한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)