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1. (WO2010007981) APPAREIL DE FORMATION DE PELLICULE ET APPAREIL D’ÉVAPORATION DE POUDRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/007981    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/062717
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 14.07.2009
CIB :
H01L 21/31 (2006.01), C23C 14/12 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01), C23C 16/452 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
TAMURA Akitake [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
DOBASHI Kazuya [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HAYASHI Teruyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TAMURA Akitake; (JP).
DOBASHI Kazuya; (JP).
HAYASHI Teruyuki; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE Kenji; (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-187686 18.07.2008 JP
Titre (EN) FILM-FORMING APPARATUS AND POWDER EVAPORATION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE FORMATION DE PELLICULE ET APPAREIL D’ÉVAPORATION DE POUDRE
(JA) 成膜装置及び粉体気化装置
Abrégé : front page image
(EN)A raw material powder is supplied from a raw material storage unit, in which the raw material powder in a solid state is stored, to a powder evaporation unit together with a carrier gas; then the raw material powder is changed into a plasma in the powder evaporation unit, thereby being formed into a gaseous raw material; and then the resulting gaseous raw material is supplied to a process chamber.
(FR)Une poudre de matériau brut est introduite à partir d’une unité de stockage de matériau brut, dans laquelle la poudre de matériau brut est entreposée à l'état solide, dans une unité d’évaporation de la poudre en même temps qu’un gaz porteur ; la poudre de matériau brut est alors changée en plasma dans l’unité d’évaporation de poudre, étant ainsi transformée en un matériau gazeux brut ; le matériau gazeux brut est alors introduit dans une chambre de traitement.
(JA) 固体状の原料粉体を貯留する原料貯留部からキャリアガスと共に原料粉体を粉体気化部に供給し、粉体気化部において原料粉体をプラズマ化して気体状の原料とし、これを処理容器へと供給する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)