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1. (WO2010007657) DISPOSITIF DE PURGE, ORIFICE DE CHARGE, ET PROCÉDÉ DE PURGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/007657    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/062712
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 14.07.2008
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : RIGHT MFG, CO., LTD. [JP/JP]; 47-3, Maenocho 1-chome, Itabashi-ku, Tokyo 1748633 (JP) (Tous Sauf US).
NAGATA, Tatsuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAGATA, Tatsuhiko; (JP)
Mandataire : SHOBAYASHI, Masayuki; Takase Bldg., 25-8, Higashi-ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PURGING DEVICE, LOAD PORT, AND PURGING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE PURGE, ORIFICE DE CHARGE, ET PROCÉDÉ DE PURGE
(JA) パージ装置、ロードポート及びパージ方法
Abrégé : front page image
(EN)A purging device, a load port and a purging method capable of preventing an atmosphere in an outside space from flowing into a substrate container. In the purging device (20), in a state where a cover member (102) of the substrate container (100) is removed, a surrounding part (30) is disposed so as to cover a container opening part (100a) to form a replacement space (S3) where the surrounded inner space (S1) is communicated with a space (S2) in the substrate container (100) to partition the replacement space (S3) and a processing chamber (R1) from each other. A groove part suction part (33) is disposed in a gap part (S4) which communicates the replacement space (S3) with the processing chamber (R1) to suck the atmosphere in the gap part (S4). Then, a purging plate (50) makes replacement gas flow out into the replacement space (S3).
(FR)L'invention porte sur un dispositif de purge, un orifice de charge et un procédé de purge capables d'empêcher une atmosphère d’un espace extérieur de s'écouler à l'intérieur d'un contenant de substrat. Dans le dispositif de purge (20), dans un état dans lequel un élément de couvercle (102) du contenant de substrat (100) est retiré, une partie d'entourage (30) est disposée de façon à recouvrir une partie d'ouverture de contenant (100a) pour former un espace de remplacement (S3) où l'espace interne entouré (S1) est amené à communiquer avec un espace (S2) dans le contenant de substrat (100) pour séparer l'espace de remplacement (S3) et une chambre de traitement (R1) l'un de l'autre. Une partie d'aspiration de partie de rainure (33) est disposée dans une partie d'espace (S4) qui fait communiquer l'espace de remplacement (S3) avec la chambre de traitement (R1) pour aspirer l'atmosphère dans la partie d'espace (S4). Ensuite, une plaque de purge (50) amène un gaz de remplacement à s'écouler de l'extérieur jusqu’à l'intérieur de l'espace de remplacement (S3).
(JA) 外部空間の雰囲気が基板収納容器内に流入することを防止することができるパージ装置、ロードポート及びパージ方法を提供する。 パージ装置(20)は、基板収納容器(100)の蓋部材(102)が取り外された状態で、囲い部(30)が、容器開口部(100a)を覆うように配置され、その内側の空間(S1)と基板収納容器(100)内の空間(S2)とを連通させた置換空間(S3)を形成して、置換空間(S3)と処理室(R1)とを仕切り、溝部吸入部(33)が、置換空間(S3)と処理室(R1)とを連通させる間隙部(S4)に配置され、間隙部(S4)の雰囲気を吸入し、パージプレート(50)が、置換空間(S3)内に置換ガスを流出させる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)