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1. (WO2010007036) DISPOSITIF OPTIQUE MUNI D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE DÉFORMABLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/007036    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/058943
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 14.07.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 7/02 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Str. 2 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
SCHÖPPACH, Armin [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
STEINBACH, Manfred [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : SCHÖPPACH, Armin; (DE).
STEINBACH, Manfred; (DE)
Mandataire : COHAUSZ & FLORACK; Bleichstraße 14 40211 Düsseldorf (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 032 853.7 14.07.2008 DE
61/080,423 14.07.2008 US
Titre (DE) OPTISCHE EINRICHTUNG MIT EINEM DEFORMIERBAREN OPTISCHEN ELEMENT
(EN) OPTICAL DEVICE HAVING A DEFORMABLE OPTICAL ELEMENT
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE MUNI D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE DÉFORMABLE
Abrégé : front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Einrichtung (108), insbesondere für die Mikrolithographie, mit einem optischen Modul (109) und einer Stützstruktur (110), wobei die Stützstruktur das optische Modul abstützt. Das optische Modul umfasst ein optisches Element (107.1) und eine Halteeinrichtung (111), wobei die Halteeinrichtung das optische Element hält. Die Halteeinrichtung umfasst eine Deformationseinrichtung (114) mit einer Mehrzahl von aktiven Deformationseinheiten (114.1), welche das optische Element kontaktieren und dazu ausgebildet sind, dem optischen Element eine definierte Verformung aufzuprägen. Das optische Modul ist austauschbar an der Stützstruktur befestigt.
(EN)The present invention relates to an optical device (108), in particular for microlithography, having an optical module (109) and a supporting structure (110), wherein the supporting structure supports the optical module. The optical module has an optical element (107.1) and a holding device (111), wherein the holding device holds the optical element. The holding device has a deformation device (114) with a plurality of active deformation units (114.1), which make contact with the optical element and are designed to apply a defined deformation to the optical element. The optical module is attached to the supporting structure such that it can be replaced.
(FR)La présente invention concerne un dispositif optique destiné en particulier à la microlithographie, qui comprend un module optique et une structure de support, la structure de support supportant ledit module optique. Le module optique comprend un élément optique et un dispositif de maintien, le dispositif de maintien maintenant ledit élément optique. Le dispositif de maintien comprend un dispositif de déformation constitué d'une pluralité d'unités de déformation actives qui entrent en contact avec l'élément optique et sont conçues pour déformer l'élément optique d'une manière définie. Le module optique est fixé sur la structure de support de façon à pouvoir être remplacé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)