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1. (WO2010006678) OPTIQUE D'IMAGERIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/006678    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/004429
Date de publication : 21.01.2010 Date de dépôt international : 18.06.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 17/06 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
MANN, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : MANN, Hans-Jürgen; (DE)
Mandataire : HOFMANN, Matthias; Rau, Schneck, Hübner & Hofmann Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 033 340.9 16.07.2008 DE
61/081, 147 16.07.2008 US
Titre (EN) IMAGING OPTICS
(FR) OPTIQUE D'IMAGERIE
Abrégé : front page image
(EN)An imaging optics (7) has a plurality of mirrors (M1 to M6). The latter image an object field in an object plane (5) into an image field in an image plane (9). At least one of the mirrors (M5, M6) has a through opening (18, 19) for the passage of imaging light (3). An arrangement of the mirrors (M1 to M6) is such that principal rays run parallel or divergently in the beam path of the imaging light (3) between the object plane (5) and the first downstream mirror (M1). In a first aspect of the invention, the imaging optics (7) has an entrance pupil plane that lies in the beam path of the imaging light (3) in the range of between 5 m and 2000 m in front of the object plane (5). In a second aspect of the invention, the imaging optics has an entrance pupil plane that lies in the beam path of the imaging light in the range of between 100 mm and 5000 mm in front of the object plane (5). Imaging optics with improved imaging quality result.
(FR)L'invention porte sur une optique d'imagerie (7) qui comporte une pluralité de miroirs (M1 à M6). Cette dernière effectue une image d'un champ d'objet dans un plan d'objet (5) dans un champ d'image dans un plan d'image (9). Au moins l'un des miroirs (M5, M6) a une ouverture traversante (18, 19) pour le passage d'une lumière d'imagerie (3). Un agencement des miroirs (M1 à M6) est tel que des rayons principaux circulant de manière parallèle ou divergente dans le trajet de faisceau de la lumière d'imagerie (3) entre le plan d'objet (5) et le premier miroir en aval (M1). Sous un premier aspect de l'invention, l'optique d'imagerie (7) a un plan de pupille d'entrée qui se situe dans le trajet de faisceau de la lumière d'imagerie (3) dans la plage entre 5 m et 2 000 m en face du plan d'objet (5). Sous un second aspect de l'invention, l'optique d'imagerie a un plan de pupille d'entrée qui se situe dans le trajet de faisceau de la lumière d'imagerie dans la plage entre 100 mm et 5 000 mm en face du plan d'objet (5). Il en résulte une optique d'imagerie avec une qualité d'imagerie améliorée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)