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1. (WO2010005700) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE CARACTÉRISTIQUES D’AIDE DE SOUS-RÉSOLUTION SURDIMENSIONNÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/005700    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/047357
Date de publication : 14.01.2010 Date de dépôt international : 15.06.2009
CIB :
H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; KLA-Tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US) (Tous Sauf US).
HESS, Carl E [US/US]; (US) (US Seulement).
XIONG, Yalin [CN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HESS, Carl E; (US).
XIONG, Yalin; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; (US)
Données relatives à la priorité :
61/061,717 16.06.2008 US
12/427,459 21.04.2009 US
Titre (EN) METHOD FOR DETECTION OF OVERSIZED SUB-RESOLUTION ASSIST FEATURES
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE CARACTÉRISTIQUES D’AIDE DE SOUS-RÉSOLUTION SURDIMENSIONNÉES
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are methods and apparatus for inspecting a sub-resolution assist features (SRAF) on a reticle. A test flux measurement for a boundary area that encompasses a width and a length portion of a test SRAF is determined, and at least one reference flux measurement for one or more boundary areas of one or more reference SRAF's is determined. The test flux measurement is compared with the reference flux measurements. The comparison is used to then determine whether the test SRAF is undersized or oversized. If the test SRAF is determined to be oversized, it may then be determined whether the test SRAF is defective based on the comparison using a first threshold.
(FR)La présente invention concerne des procédés et un appareil permettant d’inspecter des caractéristiques d’aide de sous-résolution (SRAF) sur un réticule. Une mesure de flux de test pour une zone frontière qui englobe une partie largeur et une partie longueur d’une SRAF de test est déterminée et au moins une mesure de flux de référence pour une ou plusieurs zones frontières d’une ou plusieurs SRAF de référence est déterminée. La mesure de flux de test est comparée aux mesures de flux de référence. La comparaison est utilisée pour déterminer alors si la SRAF de test est sous-dimensionnée ou surdimensionnée. Si l’on détermine qu’elle est surdimensionnée, on peut alors déterminer qu’elle est défectueuse sur la base de la comparaison à l’aide d’un premier seuil.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)