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1. (WO2010005541) ENSEMBLE ÉLECTRODE EN POMME DE DOUCHE CLAMPÉE

Pub. No.:    WO/2010/005541    International Application No.:    PCT/US2009/003953
Publication Date: 14 janv. 2010 International Filing Date: 6 juil. 2009
IPC: H05H 1/34
H05H 1/38
H01L 21/3065
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION
KADKHODAYAN, Babak
DHINDSA, Rajinder
DE LA LLERA, Anthony
KELLOGG, Michael, C.
Inventors: KADKHODAYAN, Babak
DHINDSA, Rajinder
DE LA LLERA, Anthony
KELLOGG, Michael, C.
Title: ENSEMBLE ÉLECTRODE EN POMME DE DOUCHE CLAMPÉE
Abstract:
L’invention concerne un ensemble électrode pour une chambre de réaction plasma utilisée dans le traitement de substrat semi-conducteur. L’ensemble comprend une électrode en pomme de couche supérieure qui comprend une électrode interne attachée mécaniquement à une plaque de renfort par un anneau de serrage et une électrode externe attachée à la plaque de renfort par une série de verrous à came espacés. Un anneau de garde entoure la plaque de renfort et peut se déplacer dans les positions auxquelles les ouvertures dans l’anneau de garde s’alignent avec les ouvertures dans la plaque de renfort de sorte que les verrous à came peuvent être mis en rotation avec un outil pour libérer les tiges de came s’étendant vers le haut de la face supérieure de l’électrode externe. Pour compenser la dilatation thermique différentielle, la bague de serrage peut comprendre des joints d’expansion à des emplacements espacés qui permettent à la bague de serrage d’absorber les contraintes thermiques.