WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2010005479) MÉTHODE DE FABRICATION DE SONDES NEURALES TRIDIMENSIONNELLES À INTERFACES ÉLECTRIQUES ET CHIMIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/005479    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/003631
Date de publication : 14.01.2010 Date de dépôt international : 16.06.2009
CIB :
A61B 5/04 (2006.01), A61N 1/00 (2006.01)
Déposants : WAYNE STATE UNIVERSITY [US/US]; A Constitutional Body Corporate of the State of Michigan c/o Office of General Counsel 4249 Faculty/Administration Building; 656 Kirby Detroit, MI 48202 (US) (Tous Sauf US).
XU, Yong [CN/US]; (US) (US Seulement).
LI, Yuefa [CN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : XU, Yong; (US).
LI, Yuefa; (US)
Mandataire : ROHM, Benita, J.; (US)
Données relatives à la priorité :
61/132,199 16.06.2008 US
61/194,940 01.10.2008 US
Titre (EN) METHOD OF MAKING 3-DIMENSIONAL NEURAL PROBES HAVING ELECTRICAL AND CHEMICAL INTERFACES
(FR) MÉTHODE DE FABRICATION DE SONDES NEURALES TRIDIMENSIONNELLES À INTERFACES ÉLECTRIQUES ET CHIMIQUES
Abrégé : front page image
(EN)A method of fabricating a three-dimensional neural probe includes the steps of: growing thermal oxide layer; depositing a layer of Au/Cr on the thermal oxide layer; patterning the layer of Au/Cr; depositing a layer of parylene C; etching the thermal oxide layer to release a plurality of islands; and folding the islands onto one another in stacked relation. The layer of Au/Cr is formed by an evaporation process, and the layer of parylene C is deposited to a thickness of approximately 8 μm. DRIE is used to perform the etching, and HF is used to remove the thermal oxide. A spacer is disposed intermediate of two of the islands.
(FR)Cette invention concerne une méthode de fabrication d’une sonde neurale tridimensionnelle comprenant les étapes consistant à : développer une couche d’oxyde thermique; déposer une couche de Au/Cr sur la couche d’oxyde thermique; façonner la couche de Au/Cr; déposer une couche de parylène C; attaquer la couche d’oxyde thermique pour libérer plusieurs îlots; et plier les îlots les uns sur les autres en cascade. La couche de Au/Cr est formée par un processus d’évaporation, et la couche de parylène C est déposée en une épaisseur d’environ 8 μm. La gravure profonde par ions réactifs (DRIE) est utilisée pour le procédé d’attaque, et l’oxyde thermique est éliminé avec de l’acide fluorhydrique (HF). Un espaceur est disposé entre deux des îlots.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)