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1. (WO2010005246) DISPOSITIF DE TRANSFERT DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/005246    N° de la demande internationale :    PCT/KR2009/003759
Date de publication : 14.01.2010 Date de dépôt international : 09.07.2009
CIB :
H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : INATECH CO., LTD. [KR/KR]; 127B-9LT Namdong Ind. Complex 698-8 Gojan-dong, Namdong-gu Incheon 405-820 (KR) (Tous Sauf US).
SHIN, Dong-Hyuk [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : SHIN, Dong-Hyuk; (KR)
Mandataire : Y.P. LEE, MOCK & PARTNERS; 1575-1 Seocho-dong, Seocho-gu Seoul 137-875 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2008-0067805 11.07.2008 KR
Titre (EN) SUBSTRATE-CONVEYING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT DE SUBSTRATS
(KO) 기판 이송장치
Abrégé : front page image
(EN)One problem associated with substrate-conveying devices is that, when a first substrate (1) has been placed on a supply lift (11) and is being conveyed from an upper workbench (10) to a lower workbench (20), a wait is imposed on a second substrate (2) which has finished undergoing an ultraviolet cleaning process on the upper workbench (10) as shown in Figure 2, and, consequently, productivity is reduced due to the delay in supplying other substrates through a supply and discharge part (15). The present invention comprises a substrate-conveying device in which a substrate supplied from an upper first position is conveyed to a height at a lower second position, and the substrate which has been conveyed to the second lower position is moved and discharged by means of a conveying rail; wherein the substrate-conveying device is constructed in such a way that first and second upper rotational supports and first and second lower rotational supports rotate in a state in which they are spaced apart from each other vertically.
(FR)Un problème associé aux dispositifs de transfert de substrats est que, quand un premier substrat (1) a été placé sur un élévateur d'alimentation, (11) et est transféré d'un plateau supérieur (10) à un plateau inférieur (20), une attente est imposée à un deuxième substrat (2) qui a fini de subir un processus de nettoyage par UV sur le plateau supérieur (10) (Figure 2); par conséquent, la productivité est réduite en raison du retard d'approvisionnement d'autres substrats par la section (15) d'alimentation et de décharge. Pour y remédier, l'invention présente comprend un dispositif de transfert de substrats dans lequel un substrat fourni à partir d'une première position supérieure est transféré d'une position haute à une deuxième position inférieure tandis qu'un substrat qui a été transféré à la deuxième position inférieure est déplacé et déchargé au moyen d'un rail de transfert. Ledit dispositif de transfert de substrats est tel qu'un premier et un deuxième support tournant supérieurs et un premier et un deuxième support tournant inférieurs tournent en étant espacés l'un de l'autre verticalement.
(KO)기판 이송장치는 제1기판(1)이 공급측리프트(11)에 탑재되어서 상부작업대(10)로부터 하부작업대(20)로 이송되는 동안, 도 2에서와 같이 상부작업대(10)에서 자외선세정공정이 완료된 제2기판(2)이 대기하여야 하고 이에 따라 공급 및 배출부(15)를 통한 다른 기판의 공급이 지연되므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다. 이 장치는 상부의 제1위치로 공급된 기판을 하부의 제2위치의 높이로 기판을 이송시키고, 제2위치로 이송된 기판을 이송레일로 이동시켜 배출시키는 기판 이송장치에 있어서, 제1,2상부회동지지대와 제1,2하부회동지지대가 상하로 이격된 상태로 회동되게 한 구조를 가진다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)