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1. (WO2010005013) APPAREIL DE MESURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/005013    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/062412
Date de publication : 14.01.2010 Date de dépôt international : 08.07.2009
CIB :
G01B 11/25 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
USAMI Hitoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : USAMI Hitoshi; (JP)
Mandataire : INAMOTO Yoshio; 711 Building 4F, 11-18, Nishi-Shinjuku 7-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-178667 09.07.2008 JP
Titre (EN) MEASURING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE MESURE
(JA) 測定装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a measuring apparatus wherein accuracy of measurement of the shape of a subject to be inspected is improved, while maintaining visibility. An illuminating apparatus (12) is provided with an LED (51) which emits a red light, an LED (52) which emits a green light, and an LED (53) which emits a blue light.  The lights emitted from the LEDs (51, 52, 53) are simultaneously applied to a subject (2) to be inspected and become monitoring light which a human perceives as white light being lighted.  A light source (31) for measurement is used for measuring the shape of the subject (2) to be inspected, and emits a laser beam composed of a visible light having a wavelength different from that of the light emitted from each of the LEDs (51, 52, 53).  Among the light reflected by the subject (2) to be inspected, only the light emitted from the light source (31) for measurement passes through an optical filter (39) and forms an image on a light receiving surface of an imaging element (41).
(FR)La présente invention concerne un appareil de mesure dans lequel on améliore la précision de mesure de la forme d'un sujet à contrôler tout en conservant sa visibilité. Un appareil d'éclairage (12) est pourvu d'une diode électroluminescente (51) qui émet une lumière rouge, d'une diode électroluminescente (52) qui émet une lumière verte, et d'une diode électroluminescente (53) qui émet une lumière bleue. Les lumières émises par les diodes électroluminescentes (51, 52, 53) sont appliquées simultanément à un sujet (2) devant être contrôlé et deviennent une lumière de surveillance que l'œil humain perçoit comme une lumière blanche d'éclairage. Une source de lumière (31) de mesure est utilisée pour mesurer la forme du sujet (2) devant être contrôlé, et émet un faisceau laser composé d'une lumière visible ayant une longueur d'onde différente de celle de la lumière émise par chacune des diodes électroluminescentes (51, 52, 53). De la lumière réfléchie par le sujet (2) devant être contrôlé, seule la lumière émise par la source de lumière (31) de mesure passe à travers un filtre optique (39) et forme une image sur une surface photoréceptrice d'un élément d'imagerie (41).
(JA) 本発明は、視認性を保ちつつ、被検物の形状測定を高精度化させる測定装置に関する。照明装置(12)は、赤色光を発するLED(51)、緑色光を発するLED(52)、青色光を発するLED(53)を備えている。各LED(51、52、53)から発せられた光は、被検物(2)に同時に照射され、白色光が照明されたと人が知覚する観察光となる。測定用光源(31)は、被検物(2)の形状測定に用いられ、各LED(51、52、53)から発せられた光の波長と異なる波長の可視光で構成されたレーザ光を発する。被検物(2)で反射した光のうち、測定用光源(31)から発せられた光のみが光学フィルタ(39)を透過し、撮像素子(41)の受光面で結像する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)