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1. (WO2010004006) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR IMPRIMER DES STRUCTURES DANS UN SUBSTRAT, EN PARTICULIER DANS DES SUPPORTS DE DONNÉES OPTIQUES, DES STRUCTURES SEMI-CONDUCTRICES ET DES MICROSTRUCTURES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/004006    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/058758
Date de publication : 14.01.2010 Date de dépôt international : 09.07.2009
CIB :
B29C 59/00 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01), B29C 43/02 (2006.01), B29C 43/36 (2006.01), G03F 7/00 (2006.01), B29C 43/04 (2006.01)
Déposants : SINGULUS TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; Hanauer Landstraße 103 63796 Kahl am Main (DE) (Tous Sauf US).
REISING, Michael [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KEMPF, Stefan [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : REISING, Michael; (DE).
KEMPF, Stefan; (DE)
Mandataire : VOSSIUS & PARTNER; Siebertstraße 4 81675 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 032 559.7 10.07.2008 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM PRÄGEN VON STRUKTUREN IN EINEM SUBSTRAT, INSBESONDERE IN OPTISCHEN DATENTRÄGERN, HALBLEITERSTRUKTUREN UND MIKROSTRUKTUREN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR IMPRESSING STRUCTURES IN A SUBSTRATE, IN PARTICULAR IN OPTICAL DATA STORAGE MEDIA, SEMICONDUCTOR STRUCTURES AND MICROSTRUCTURES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR IMPRIMER DES STRUCTURES DANS UN SUBSTRAT, EN PARTICULIER DANS DES SUPPORTS DE DONNÉES OPTIQUES, DES STRUCTURES SEMI-CONDUCTRICES ET DES MICROSTRUCTURES
Abrégé : front page image
(DE)Bei der Herstellung optischer Datenträger werden in einer Schutzkammer, bei Unterdruck, Datenstrukturen in das Substrat (2) eingeprägt. Durch eine flexible Dichtung (20, 21) zwischen Prägekopf (4) und Träger (1) zur Aufnahme des zu prägenden Substrates (2) bildet der Prägekopf (4) den Kammerdeckel. Dadurch werden eine Verkleinerung des Kammervolumens und damit geringe Pump- und Zykluszeiten sowie eine gute Zugänglichkeit des Prägekopfes (4) erreicht. Zudem kann eine selbstabdichtende Kupplung im Versorgungskanal (101 bis 105) zwischen Kammer und Arbeitsdruckerzeugungsvorrichtung (100) eingesetzt werden. Dies ermöglicht, durch die daraus folgende gute Zugänglichkeit des Kammerinneren einen schnellen Wechsel des am Prägekopf (4) befestigten Stampers (3).
(EN)In the manufacture of optical data storage media, data structures are impressed into the substrate (2) in a protective chamber under vacuum. The impression head (4) forms the chamber cover through a flexible seal (20, 21) between the impression head (4) and the support (1) holding the substrate (2) to be impressed. This enables the chamber volume to be reduced and thus low pumping and cycle times as well as good access by the impression head (4). In addition, a self-sealing coupling can be used in the supply canal (101 to 105) between the chamber and the working pressure generating device (100). This makes it possible to quickly exchange the stamper (3) attached to the impression head (4) as a result of the good accessibility of the chamber interior.
(FR)Lors de la production de supports de données optiques, des structures de données sont imprimées dans un substrat (2) à l'intérieur d'une chambre de protection, sous vide. La tête d'impression (4) forme le couvercle de la chambre par l'intermédiaire d'un joint flexible (20, 21) situé entre la tête d'impression (4) et le support (1) qui reçoit le substrat (2) à imprimer, ce qui permet de réduire le volume de la chambre et ainsi les temps de pompage et de cycle et d'obtenir une bonne accessibilité de la tête d'impression (4). Un accouplement autoétanchéifiant peut également être utilisé dans le canal d'alimentation (101 à 105) entre la chambre et le générateur de pression de fonctionnement (100). L'intérieur de la chambre est ainsi aisément accessible, ce qui permet d'effectuer un remplacement rapide de la matrice (3) fixée sur la tête d'impression (4).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)