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1. (WO2010003925) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN COMPOSANT MST, ET COMPOSANT MST
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/003925    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/058520
Date de publication : 14.01.2010 Date de dépôt international : 06.07.2009
CIB :
B81C 1/00 (2006.01)
Déposants : EPCOS AG [DE/DE]; St.-Martin-Str. 53 81669 München (DE) (Tous Sauf US).
PAHL, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FEIERTAG, Gregor [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : PAHL, Wolfgang; (DE).
FEIERTAG, Gregor; (DE)
Mandataire : EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Ridlerstr. 55 80339 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 032 319.5 09.07.2008 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUR VERKAPSELUNG EINES MEMS BAUTEILS
(EN) METHOD FOR ENCAPSULATING AN MEMS COMPONENT
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN COMPOSANT MST, ET COMPOSANT MST
Abrégé : front page image
(DE)Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen Wandlers beschrieben, bei dem - ein MST Bauelement in einem Behälter angeordnet wird, und - der Behälter mit einer Deckschicht verschlossen wird, wobei - die Deckschicht mit zumindest einer Aussparung versehen wird, die die Deckschicht in einen inneren und einen äußeren Bereich derart aufteilt, dass sowohl der innere als auch der äußere Bereich mit der der Deckschicht zugewandten Oberseite des MST Bauelement (3) verbunden sind, und — der innere Bereich abgehoben wird während der äußere Bereich haften bleibt.
(EN)A method is described for manufacturing an electromechanical converter in which an MST component is disposed in a container and the container is sealed shut by a cover layer, wherein the cover layer is provided with at least one notch that subdivides the cover layer into an inner and an outer area such that both the inner and the outer area are connected to the top of the MST component (3) facing the cover layer and the inner area is pulled away whereas the outer area remains adhered.
(FR)L'invention concerne un procédé de production d'un convertisseur électromécanique, caractérisé - en ce qu'un composant MST est disposé dans un contenant; et - le contenant est fermé par une couche de recouvrement; - la couche de recouvrement est munie d'au moins un évidement qui subdivise la couche de recouvrement en une zone intérieure et en une zone extérieure, de telle façon que la zone intérieure ainsi que la zone extérieure soient reliées avec la partie supérieure tournée vers la couche de recouvrement, du composant MST (3); - et la zone intérieure est détachée, tandis que la zone extérieure demeure attachée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)