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1. (WO2010002905) TÊTE DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT UNIQUE POUR RETRAIT DE PARTICULES À L'AIDE D'UN FLUIDE À FAIBLE VISCOSITÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/002905    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/049280
Date de publication : 07.01.2010 Date de dépôt international : 30.06.2009
CIB :
H01L 21/30 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538 (US) (Tous Sauf US).
KHOLODENKO, Arnold [US/US]; (US) (US Seulement).
LIN, Cheng-yu [--/US]; (US) (US Seulement).
GINZBURG, Leon [US/US]; (US) (US Seulement).
MANDELBOYM, Mark [US/US]; (US) (US Seulement).
TOMASCH, Gregory, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
HUSAIN, Anwar [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : KHOLODENKO, Arnold; (US).
LIN, Cheng-yu; (US).
GINZBURG, Leon; (US).
MANDELBOYM, Mark; (US).
TOMASCH, Gregory, A.; (US).
HUSAIN, Anwar; (US)
Mandataire : PENILLA, Albert, S.; Martine Penilla & Gencarella, Llp 710 Lakeway Drive, Suite 200 Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
12/165,577 30.06.2008 US
Titre (EN) SINGLE SUBSTRATE PROCESSING HEAD FOR PARTICLE REMOVAL USING LOW VISCOSITY FLUID
(FR) TÊTE DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT UNIQUE POUR RETRAIT DE PARTICULES À L'AIDE D'UN FLUIDE À FAIBLE VISCOSITÉ
Abrégé : front page image
(EN)A head for dispensing a thin film over a substrate is disclosed The head includes a body assembly that extends between a first and a second end that is at least a width of the substrate The body includes a main bore that is defined between the first and the second ends, the main bore connected to an upper side of a reservoir through a plurality of feeds that are defined between the main bore and the reservoir The body also includes a plurality of outlets connected to a lower side of the reservoir and extend to an output slot The plurality of feeds have a larger cross-sectional area than the plurality of outlets and the plurality of feeds are fewer than the plurality of outlets.
(FR)L'invention porte sur une tête pour distribuer un film mince sur un substrat. La tête comprend un ensemble corps qui s'étend entre une première extrémité et une seconde extrémité qui est au moins une largeur du substrat. Le corps comprend un alésage principal qui est défini entre les première et seconde extrémités, l'alésage principal étant relié à un côté supérieur d'un réservoir à travers une pluralité d'alimentations qui sont définies entre l'alésage principal et le réservoir. Le corps comprend également une pluralité de sorties connectées à un côté inférieur du réservoir et s'étendent vers une fente de sortie. La pluralité d'alimentations ont une zone en coupe transversale plus grand que la pluralité de sorties et la pluralité d'alimentations sont moins nombreuses que la pluralité de sorties.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)