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1. (WO2010001945) ENSEMBLE CACHE, DISPOSITIF À FENTE VARIABLE ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/001945    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/062079
Date de publication : 07.01.2010 Date de dépôt international : 25.06.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
TANAKA, Keiichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TANAKA, Keiichi; (JP)
Mandataire : KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden, 5-4, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Données relatives à la priorité :
61/129,535 02.07.2008 US
12/488,361 19.06.2009 US
Titre (EN) LIGHT SHIELDING UNIT, VARIABLE SLIT APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) ENSEMBLE CACHE, DISPOSITIF À FENTE VARIABLE ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
Abrégé : front page image
(EN)A light shielding unit 38, which shields a part of an exposure light with a light shielding member 39a, includes a sensor 43 which detects displacement of the light shielding member 39a, a driving device 44 which drives the light shielding member 39a based on a detection result obtained by the sensor 43, a case 40 which accommodates the sensor 43 and the driving device 44, and a bellows mechanism 41 which gas-seals the case 40 with respect to the light shielding member. When the illumination area of the illumination light is defined, it is possible to mitigate the influence of the foreign matters and/or the heat generated from the driving mechanism.
(FR)Ensemble cache (38) occultant une partie de lumière d'exposition au moyen d'un cache (39a) et comprenant un capteur (43) détectant le déplacement du cache (39a); un dispositif de commande (44) servant à commander le cache (39a) en fonction d'un résultat de détection obtenu par le capteur (43); un boîtier (40) logeant le capteur (43) et le dispositif de commande (44), ainsi qu'un mécanisme à soufflet (41) servant à isoler le boîtier (40) par étanchéité aux gaz par rapport au cache. Une fois qu'on a défini la zone d'éclairage de la lumière d'éclairage, on peut limiter l'influence des corps étrangers et/ou de la chaleur générée par le mécanisme de commande.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)