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1. (WO2010001890) MÉCANISME D'AJUSTEMENT DE TEMPÉRATURE ET APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR UTILISANT UN MÉCANISME D'AJUSTEMENT DE TEMPÉRATURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/001890    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/061952
Date de publication : 07.01.2010 Date de dépôt international : 30.06.2009
CIB :
H05H 1/46 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
NISHIMOTO Shinya [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NISHIMOTO Shinya; (JP)
Mandataire : KIMURA Mitsuru; (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-175590 04.07.2008 JP
Titre (EN) TEMPERATURE ADJUSTING MECHANISM AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS USING TEMPERATURE ADJUSTING MECHANISM
(FR) MÉCANISME D'AJUSTEMENT DE TEMPÉRATURE ET APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR UTILISANT UN MÉCANISME D'AJUSTEMENT DE TEMPÉRATURE
(JA) 温度調節機構および温度調節機構を用いた半導体製造装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a temperature adjusting mechanism, which can keep deviation of a temperature of a portion in contact with the temperature adjusting mechanism to be small by controlling the temperature accurately at a high speed.  A semiconductor manufacturing apparatus using such temperature adjusting mechanism is also provided. A cooling jacket (6) is provided with a cooling channel (61), and a heat lane (62).  The heat lane (62) is provided with a heat receiving section (63), and a heat dissipating section (64), and seals a two-phase condensable working fluid (hereinafter, referred to as the working liquid) in an annular fine tube which reciprocates between the heat receiving section and the heat dissipating section by returning therebetween.  The heat dissipating section (64) is a portion to be cooled by the cooling channel (61), and the heat receiving section (63) is a portion having a temperature higher than that of the heat dissipating section (64).  In the heat receiving section (63), heat is received, the working liquid is self-excited by nucleate boiling, and the working liquid transfers sensible heat while being circulated.  Furthermore, in the heat receiving section (63), a liquid phase absorbs heat and the phase is transformed into a gaseous phase, and in the heat dissipating section (64), a gaseous phase dissipates heat and is cooled and condensed, the phase is transformed into a liquid phase, and latent heat is transferred by gas-liquid phase transformation.  Heat is transferred between the heat receiving section (63) and the heat dissipating section (64), and the temperature is uniformized in a short time.
(FR)L'invention porte sur un mécanisme d'ajustement de température qui peut maintenir à un faible niveau une déviation de la température d'une partie en contact avec le mécanisme d'ajustement de température en régulant la température de manière précise et à grande vitesse. L'invention porte également sur un appareil de fabrication de semi-conducteur utilisant un tel mécanisme d'ajustement de température. Une chemise de refroidissement (6) est pourvu d’un canal de refroidissement (61) et d’une voie thermique (62). La voie thermique (62) est pourvue d’une section de réception de chaleur (63) et d’une section de dissipation de chaleur (64), et scelle de manière étanche un fluide de travail condensable à deux phases (ci-après appelé le liquide de travail) dans un tube fin annulaire qui effectue un mouvement de va-et-vient entre la section de réception de chaleur et la section de dissipation de chaleur par retour entre celles-ci. La section de dissipation de chaleur (64) est une partie devant être refroidie par le canal de refroidissement (61), et la section de réception de chaleur (63) est une partie ayant une température supérieure à celle de la section de dissipation de chaleur (64). Dans la section de réception de chaleur (63), la chaleur est reçue, le liquide de travail est auto-excité par une ébullition nucléée, et le liquide de travail transfère une chaleur sensible tout en étant amené à circuler. De plus, dans la section de réception de chaleur (63), une phase liquide absorbe la chaleur et la phase est transformée en une phase gazeuse, et dans la section de dissipation de chaleur (64), une phase gazeuse, qui dissipe la chaleur, est refroidie et condensée, la phase est transformée en une phase liquide, et la chaleur latente est transférée par une transformation de phase gaz-liquide. La chaleur est transférée entre la section de réception de chaleur (63) et la section de dissipation de chaleur (64), et la température est uniformisée en peu de temps.
(JA)
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)