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1. (WO2010001047) DISPOSITIF DE CARACTERISATION OPTIQUE D'UN OBJET DE TRES PETITES DIMENSIONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2010/001047    N° de la demande internationale :    PCT/FR2009/051252
Date de publication : 07.01.2010 Date de dépôt international : 29.06.2009
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01J 9/02 (2006.01), G01B 21/00 (2006.01)
Déposants : COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES [FR/FR]; Bâtiment Le Ponant D 25, Rue Leblanc F-75015 Paris (FR) (Tous Sauf US).
FREY, Laurent [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
LARTIGUE, Olivier [FR/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : FREY, Laurent; (FR).
LARTIGUE, Olivier; (FR)
Mandataire : CABINET BEAUMONT; 1, Rue Champollion F-38000 Grenoble (FR)
Données relatives à la priorité :
0854426 01.07.2008 FR
Titre (EN) DEVICE FOR THE OPTICAL CHARACTERISATION OF AN OBJECT HAVING VERY SMALL DIMENSIONS
(FR) DISPOSITIF DE CARACTERISATION OPTIQUE D'UN OBJET DE TRES PETITES DIMENSIONS
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a device for the optical characterisation of an object (75) having very small dimensions, which comprises: a wide-band light source; a polarisation separator (67) receiving the light from the light source and providing a first achromatic-direction beam (69) having a first polarisation and a second beam (71) having a second polarisation perpendicular to the first polarisation; a means (73) for focusing the first and second beams on a substrate (77) carrying the object to be characterised, and thus generating a third beam from the object and a fourth beam from the substrate; a means for analysing the output beam of the means for interfering with and determining the dielectric constant of the object; and a phase-shift compensation means (81) provided upstream from the analysis means.
(FR)L'invention concerne un dispositif de caractérisation optique d'un objet (75) de très petites dimensions, comprenant une source lumineuse large bande; un séparateur de polarisations (67) recevant la lumière de la source lumineuse et fournissant un premier faisceau de direction achromatique (69) d'une première polarisation et un deuxième faisceau (71) d'une deuxième polarisation, perpendiculaire la première polarisation; un moyen de focalisation (73) des premier et deuxième faisceaux sur un support (77) portant l'objet caractériser, d'ou il résulte la formation d'un troisième faisceau issu de l'objet et d'un quatrième faisceau issu du support; un moyen d'interférence entre les troisième et quatrième faisceaux; un moyen d'analyse du faisceau de sortie du moyen d'interférence et de détermination de la constante diélectrique de l'objet; et un moyen compensateur de déphasage (81) placé avant le moyen d'analyse.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)