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1. (WO2009143200) MATRICE DE SUBSTRAT POUR DÉCOUPLER UN OUTIL ET EFFETS DE PROCESSUS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/143200    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/044594
Date de publication : 26.11.2009 Date de dépôt international : 20.05.2009
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US) (Tous Sauf US).
IZIKSON, Pavel [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
ADEL, Michael, E. [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
KANDEL, Daniel [IL/IL]; (IL) (US Seulement)
Inventeurs : IZIKSON, Pavel; (IL).
ADEL, Michael, E.; (IL).
KANDEL, Daniel; (IL)
Mandataire : BARNES, Rick; (US)
Données relatives à la priorité :
61/054,897 21.05.2008 US
Titre (EN) SUBSTRATE MATRIX TO DECOUPLE TOOL AND PROCESS EFFECTS
(FR) MATRICE DE SUBSTRAT POUR DÉCOUPLER UN OUTIL ET EFFETS DE PROCESSUS
Abrégé : front page image
(EN)A method of characterizing a process by selecting the process to characterize, selecting a parameter of the process to characterize, determining values of the parameter to use in a test matrix, specifying an eccentricity for the test matrix, selecting test structures to be created in cells on a substrate, processing the substrate through the process using in each cell the value of the parameter as determined by the eccentric test matrix, measuring a property of the test structures in the cells, and developing a correlation between the parameter and the property.
(FR)L’invention concerne un procédé de caractérisation d’un processus par la sélection du processus à caractériser, la sélection d’un paramètre du processus à caractériser, la détermination de valeurs du paramètre à utiliser dans une matrice d’essai, la spécification d’une excentricité pour la matrice d’essai, la sélection de structures d’essai à créer dans des cellules sur un substrat, le traitement du substrat selon le processus, à l’aide, dans chaque cellule, de la valeur du paramètre telle que déterminé par la matrice d’essai excentrique, la mesure d’une propriété des structures d’essai dans les cellules et le développement d’une corrélation entre le paramètre et la propriété.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)