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1. (WO2009142710) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/142710    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/003015
Date de publication : 26.11.2009 Date de dépôt international : 15.05.2009
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Building 2 Billerica, MA 01821 (US) (Tous Sauf US).
COOKE, Richard, A. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : COOKE, Richard, A.; (US)
Mandataire : CARROLL, Alice, O.; Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, P.C. 530 Virginia Road, P.O. Box 9133 Concord, MA 01742-9133 (US)
Données relatives à la priorité :
61/094,700 05.09.2008 US
61/054,259 19.05.2008 US
Titre (EN) ELECTROSTATIC CHUCK
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
Abrégé : front page image
(EN)In accordance with an embodiment of the invention, there is provided an electrostatic chuck comprising an electrode, and a surface layer activated by a voltage in the electrode to form an electric charge to electrostatically clamp a substrate to the electrostatic chuck. The surface layer includes a plurality of protrusions extending to a height above portions of the surface layer surrounding the protrusions to support the substrate upon the protrusions during electrostatic clamping of the substrate. The protrusions are substantially equally spaced across the surface layer as measured by a center to center distance between pairs of neighboring protrusions.
(FR)La présente invention concerne, selon un mode de réalisation, un mandrin électrostatique qui comprend une électrode, et une couche de surface activée par une tension dans l'électrode pour former une charge électrique pour serrer de façon électrostatique un substrat sur le mandrin électrostatique. La couche de surface comprend une pluralité de protubérances qui s'étendent jusqu'à une hauteur au-dessus de parties de la couche de surface entourant les protubérances pour supporter le substrat sur les protubérances durant le serrage électrostatique du substrat. Les protubérances sont espacées de façon sensiblement égale sur la couche de surface lorsqu'elles sont mesurées selon une distance de centre à centre entre des paires de protubérances voisines.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)