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1. (WO2009142197) APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/142197    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/059178
Date de publication : 26.11.2009 Date de dépôt international : 19.05.2009
CIB :
H01L 21/68 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 1-30, Shiba Daimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058564 (JP) (Tous Sauf US).
TOBE, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KAWAKAMI, Satoru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUBAYASHI, Shinji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MURAGUCHI, Yosuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KITAZAWA, Yasuyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIENO, Yasumichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TOBE, Yasuhiro; (JP).
KAWAKAMI, Satoru; (JP).
MATSUBAYASHI, Shinji; (JP).
MURAGUCHI, Yosuke; (JP).
KITAZAWA, Yasuyoshi; (JP).
MIENO, Yasumichi; (JP)
Mandataire : FUJIMOTO, Noboru; (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-131866 20.05.2008 JP
Titre (EN) VACUUM PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE
(JA) 真空処理装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a vacuum processing apparatus which suppresses cost and is easily controlled.  The vacuum processing apparatus is provided with a vacuum section (2) of which inside is in a vacuum state; a placing section (3) which is arranged inside the vacuum section (2) and can place a subject to be processed; and a linear motor (4) which has a coil (415) and shifts the placing section (3) inside the vacuum section (2).  The placing section (3) stores atmosphere inside by separating the atmosphere from the vacuum section (2), and the coil (415) of the linear motor (4) is arranged inside the placing section (3).
(FR)La présente invention concerne un appareil de traitement sous vide qui réduit les coûts et est facile à commander. L’appareil de traitement sous vide est pourvu d’une section sous vide (2) dont l’intérieur est dans un état sous vide ; une section de positionnement (3) qui est agencée à l’intérieur de la section sous vide (2) et peut positionner un sujet destiné à être traité ; et un moteur linéaire (4) qui possède une bobine (415) et déplace la section de positionnement (3)  à l’intérieur de la section sous vide (2). La section de positionnement (3) stocke une atmosphère à l’intérieur en séparant l’atmosphère de la section sous vide (2), et la bobine (415) du moteur linéaire (4) est agencée à l’intérieur de la section de positionnement (3).
(JA) コストを抑制することができ、制御が容易である真空処理装置を提供する。内部が真空である真空部(2)と、該真空部(2)の内部に設けられ被処理体を載置することができる載置部(3)と、コイル(415)を具備し前記載置部(3)を前記真空部(2)の内部で移動させるためのリニアモータ(4)とを備え、前記載置部(3)は、その内部に前記真空部(2)と断絶した状態で大気が収容されており、前記リニアモータ(4)のコイル(415)は、前記載置部(3)の内部に配置されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)