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1. (WO2009141534) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D' INSPECTION DE PLAQUETTES SEMI-CONDUCTRICES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/141534    N° de la demande internationale :    PCT/FR2009/000544
Date de publication : 26.11.2009 Date de dépôt international : 11.05.2009
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), G01N 21/95 (2006.01)
Déposants : ALTATECH SEMICONDUCTOR [FR/FR]; 611 rue Aristide Bergès F-38330 Montbonnot-Saint-Martin (FR) (Tous Sauf US).
GASTALDO, Philippe [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
BERGER, François [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
SERRECCHIA, Cleonisse [FR/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : GASTALDO, Philippe; (FR).
BERGER, François; (FR).
SERRECCHIA, Cleonisse; (FR)
Mandataire : DE KERNIER, Gabriel; Cabinet Netter 36, avenue Hoche F-75008 Paris (FR)
Données relatives à la priorité :
0802586 13.05.2008 FR
Titre (EN) DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR WAFERS
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D' INSPECTION DE PLAQUETTES SEMI-CONDUCTRICES
Abrégé : front page image
(EN)Semiconductor wafer inspection device (1) comprising a wafer transport arm (30) provided with at least one wafer support element, a wafer gripper (15), the gripper (15) having two distant branches (18, 19) designed to take hold of the opposed edges of the wafer, the gripper (15) being mounted so as to rotate on a shaft in order to be able to rotate the wafer between an approximately horizontal position and an approximately vertical position, and at least two inspection systems placed on one side of the wafer and on the other, in an approximately vertical position symmetrically with respect to the plane passing through the wafer.
(FR)Dispositif d'inspection (1) de plaquettes semi -conductrices comprenant un bras (30) de transport de plaquettes muni d'au moins un élément de support de plaquettes, une pince (15) de saisie de plaquettes, la pince (15) comprenant deux branches (18, 19) distantes configurées pour tenir des bords opposés de la plaquette, la pince (15) étant montée à rotation sur un arbre pour pouvoir tourner la plaquette entre une position sensiblement horizontale et une position sensiblement verticale, et au moins deux systèmes d'inspection disposés d'un côté et de l'autre de la plaquette en position sensiblement verticale, symétriquement par rapport au plan passant par la plaquette.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)