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1. WO2009140417 - PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT DES SURFACES INTÉRIEURE ET EXTÉRIEURE DE TUYAUX POUR APPLICATIONS THERMIQUES, SOLAIRES ET AUTRES APPLICATIONS.

Numéro de publication WO/2009/140417
Date de publication 19.11.2009
N° de la demande internationale PCT/US2009/043832
Date du dépôt international 13.05.2009
CIB
C23C 16/00 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
CPC
C23C 16/045
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
045Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
C23C 16/503
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
44characterised by the method of coating
50using electric discharges
503using dc or ac discharges
C23C 16/515
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
44characterised by the method of coating
50using electric discharges
515using pulsed discharges
H01J 37/32009
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
H01J 37/32596
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32532Electrodes
32596Hollow cathodes
H01J 37/32706
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32697Electrostatic control
32706Polarising the substrate
Déposants
  • SUB-ONE TECHNOLOGY, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • BOARDMAN, William, J. [US]/[US] (UsOnly)
  • CASSERLY, Thomas, B. [US]/[US] (UsOnly)
  • UPADHYAYA, Deepak [US]/[US] (UsOnly)
  • BOINAPALLY, Karthik [IN]/[US] (UsOnly)
  • RAMAMURTI, Rahul [IN]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • BOARDMAN, William, J.
  • CASSERLY, Thomas, B.
  • UPADHYAYA, Deepak
  • BOINAPALLY, Karthik
  • RAMAMURTI, Rahul
Mandataires
  • SCHNECK, Thomas
Données relatives à la priorité
61/127,43213.05.2008US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD OF COATING INNER AND OUTER SURFACES OF PIPES FOR THERMAL SOLAR AND OTHER APPLICATIONS
(FR) PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT DES SURFACES INTÉRIEURE ET EXTÉRIEURE DE TUYAUX POUR APPLICATIONS THERMIQUES, SOLAIRES ET AUTRES APPLICATIONS.
Abrégé
(EN)
A workpiece (60) having a smaller cross sectional dimension (e g, diameter) is centered within a workpiece (10) having a larger cross sectional dimension, with the workpieces being electrically connected (62) In one embodiment, surfaces of the two workpieces can be coated simultaneouslyl either with the same coating material or different coating matenals In another embodiment, holes are located along the length of an internal metal tube which functions as a gas distribution injector and anode holder A ceramic liner may be placed inside the internal metal tube, with a conductive wire within the ceramic liner The internal metal tube (10) may be biased as a cathode, while the internal wire is biased as an anode The hollow cathode effect is applied in all spaces directly adjacent to the surface or surfaces being coated In some applications different surfaces being coated are biased (20) at different voltages.
(FR)
Selon l'invention, une pièce à travailler (60) ayant une plus petite dimension de section transversale (par exemple, le diamètre) est centrée à l'intérieur d'une pièce à travailler (10) ayant une plus grande dimension de section transversale, les pièces à travailler étant reliées électriquement (62). Selon un mode de réalisation, des surfaces des deux pièces à travailler peuvent être revêtues simultanément soit avec le même matériau de revêtement, soit avec des matériaux de revêtement différents. Selon un autre mode de réalisation, des trous sont situés le long de la longueur d'un tube métallique interne, ces trous jouant le rôle d'injecteur de distribution de gaz et de support d'anode. Un chemisage en céramique peut être disposé à l'intérieur du tube métallique interne, avec un fil conducteur à l'intérieur du chemisage en céramique. Le tube métallique interne (10) peut être polarisé en cathode, tandis que le fil interne est polarisé en anode. L'effet de cathode creuse est appliqué dans tous les espaces directement adjacents à la surface ou aux surfaces recevant le revêtement. Dans certaines applications, différentes surfaces recevant le revêtement sont polarisées (20) à des tensions différentes.
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