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1. (WO2009139826) SYSTÈMES DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/139826    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/002671
Date de publication : 19.11.2009 Date de dépôt international : 30.04.2009
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : FSI INTERNATIONAL, INC. [US/US]; 3455 Lyman Boulevard Chaska, MN 55318 (US) (Tous Sauf US).
CHRISTENSON, Kurt, K. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CHRISTENSON, Kurt, K.; (US)
Mandataire : PARINS, Paul, J.; Kagan Binder, PLLC Suite 200, Maple Island Building 221 Main Street North Stillwater, MN 55082 (US)
Données relatives à la priorité :
61/127,288 12.05.2008 US
Titre (EN) SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS AND RELATED METHODS
(FR) SYSTÈMES DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉS ASSOCIÉS
Abrégé : front page image
(EN)A system for processing one or more substrates according to the present invention includes a diversion valve that can deliver two or more process fluids to a dispensing device through a common line/pipe. The present invention also includes related methods.
(FR)Un système destiné au traitement d’un ou plusieurs substrats selon la présente invention renferme une vanne de dérivation qui peut délivrer deux liquides de traitement ou plus à un dispositif de distribution, par le biais d’une canalisation ou d’un tube communs. La présente invention concerne également des procédés associés.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)