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1. (WO2009139401) TAMPON À POLIR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/139401    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/058881
Date de publication : 19.11.2009 Date de dépôt international : 13.05.2009
CIB :
H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : TORAY INDUSTRIES, INC. [JP/JP]; 1-1, Nihonbashi-Muromachi 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1038666 (JP) (Tous Sauf US).
SHIRO, Kuniyasu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HANAMOTO, Miyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HASHISAKA, Kazuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KOBAYASHI, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMADA, Atsuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIRO, Kuniyasu; (JP).
HANAMOTO, Miyuki; (JP).
HASHISAKA, Kazuhiko; (JP).
KOBAYASHI, Tsutomu; (JP).
YAMADA, Atsuo; (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-129160 16.05.2008 JP
Titre (EN) POLISHING PAD
(FR) TAMPON À POLIR
(JA) 研磨パッド
Abrégé : front page image
(EN)A polishing pad which comprises a laminate of an abrasive layer with a cushioning layer.  The abrasive layer has a Microrubber A hardness of 75 degrees or higher and a thickness of 0.8-3.0 mm.  The cushioning layer comprises an unfoamed elastomer and has a thickness of 0.05-1.5 mm.  The abrasive layer has at least two kinds of grooves formed in the surface.  One of the two kinds of grooves is first grooves and the other is second grooves.  The first grooves each has a groove width of 0.5-1.2 mm, and has a groove pitch of 7.5-50 mm.  The second grooves each has a groove width of 1.5-3 mm, and has a groove pitch of 20-50 mm.  Each of the first grooves and each of the second grooves are open to side edge faces of the abrasive layer.
(FR)L’invention concerne un tampon à polir comprenant un stratifié d’une couche abrasive doté d’une couche d’amortissement. La couche abrasive présente une microdureté A de caoutchouc de 75 degrés ou plus, et une épaisseur pouvant aller de 0,8 à 3,0 mm. La couche d’amortissement comprend un élastomère non expansé et présente une épaisseur pouvant aller de 0,05 à 1,5 mm. La couche abrasive comprend au moins deux types de rainures formées dans la surface. Les deux types de rainures sont les premières rainures et les secondes rainures. Les premières rainures présentent chacune une largeur de rainure pouvant aller de 0,5 à 1,2 mm, et un pas de rainure pouvant aller de 7,5 à 50 mm. Les secondes rainures présentent chacune une largeur de rainure pouvant aller de 1,5 à 3 mm et un pas de rainure pouvant aller de 20 à 50 mm. Chacune des premières rainures et chacune des secondes rainures s’ouvrent sur des côtés de bords latéraux de la couche abrasive.
(JA) 研磨層とクッション層との積層体からなる研磨パッドであり、前記研磨層のマイクロゴムA硬度が75度以上で、その厚みが0.8mm乃至3.0mmであり、前記クッション層が、無発泡エラストマーからなり、その厚みが0.05mm乃至1.5mmであり、前記研磨層の表面には、少なくとも2種類の溝群が形成され、当該2種類の溝群の内の一つは、第1の溝群で、他の一つは、第2の溝群であり、前記第1の溝群の各溝の溝幅が、0.5mm乃至1.2mmで、各溝の溝ピッチが7.5mm乃至50mmであり、前記第2の溝群の各溝の溝幅が、1.5mm乃至3mmで、各溝の溝ピッチが20mm乃至50mmであり、かつ、前記第1の溝群の各溝および前記第2の溝群の各溝が、前記研磨層の側端面に開口している研磨パッド。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)