(EN) A defect inspection device, which inspects defects such as foreign materials on a sample with a circuit pattern of wiring or the like, is provided with a lighting optical system that irradiates each of a plurality of linear beams to a different inspection area on the sample and an image forming optical system that forms images of the plurality of the irradiated areas on a plurality of detectors. The detectors are configured to receive a plurality of polarization components substantially at the same time and individually, wherein the polarization components are different from each other and are contained in each of the plurality of the optical images formed by the image forming optical system, thereby detecting a plurality of signals corresponding to the polarization components and carrying out the inspection at high speed under a plurality of optical conditions.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de recherche de défauts tels que la présence de corps étrangers dans un échantillon. Ce dispositif qui met en œuvre des circuits électriques ou analogues comporte, d'une part un système optique illuminateur dirigeant une pluralité de rayons lumineux rectilignes, chacun en direction de différentes zones de l'échantillon à examiner, et d'autre part un système imageur optique formant sur une pluralité de détecteurs les images de la pluralité de zones illuminées. Les détecteurs sont configurés pour recevoir une pluralité de composantes de polarisation, de façon individuelle et sensiblement simultanée. En l'occurrence, les composantes de polarisation sont différentes les unes des autres et sont contenues dans chacune des images de la pluralité d'images optiques formées par le système optique de formation d'images, ce qui permet de détecter une pluralité de signaux correspondant aux composantes de polarisation et d'effectuer une recherche à grande vitesse sous diverses conditions optiques.
(JA) 配線等の回路パターンを有する試料上の異物等の欠陥を検査するための欠陥検査装置において、複数の直線状ビームの各々を試料上の異なる検査領域に照射する照明光学系と、該照射された複数の検査領域を検出器上に結像する結像光学系とを備え、前記検出器は、前記結像光学系で結像された複数の光像の各々に含まれる互いに異なる複数の偏光成分をほぼ同時にかつ個別に受光して前記複数の偏光成分に対応する複数の信号として検出するように構成し、複数の光学条件での検査を高速に行えるようにした。