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1. (WO2009138637) STATION ET PROCEDE DE MESURE DE LA CONTAMINATION D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/138637    N° de la demande internationale :    PCT/FR2009/050713
Date de publication : 19.11.2009 Date de dépôt international : 16.04.2009
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : ALCATEL LUCENT [FR/FR]; 3, avenue Octave Gréard F-75007 Paris (FR) (Tous Sauf US).
FAVRE, Arnaud [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
GODOT, Erwan [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
BELLET, Bertrand [FR/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : FAVRE, Arnaud; (FR).
GODOT, Erwan; (FR).
BELLET, Bertrand; (FR)
Mandataire : SCIAUX, Edmond; Alcatel-Lucent International 32, avenue de Kléber F-92700 Colombes (FR)
Données relatives à la priorité :
0802284 24.04.2008 FR
Titre (EN) STATION AND METHOD FOR MEASURING THE CONTAMINATION OF AN ENCLOSURE USED FOR TRANSPORTING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
(FR) STATION ET PROCEDE DE MESURE DE LA CONTAMINATION D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a station for measuring the contamination with particles of a transport enclosure used for the atmospheric storage and carriage of semiconductor substrates, the said enclosure comprising a casing that can be closed off by a removable access door, the said station comprising: an interface (5) that can be coupled to a casing of a transport enclosure: (3), in place of the said door, the interface (5) comprising at least one injection nozzle (9) positioned at a moving end of a hose projecting from the said interface in order to direct a jet of gas in a direction perpendicular to a wall portion (13) on the inside (10) of the said casing coupled to the said measurement station so as to detach particles (11) from the said casing (3) through the impinging of the jet of gas against the said wall (13), and a measurement device (7) comprising a vacuum pump (17), a particles meter (19) and a measurement pipe (21) one inlet (23) of which opens to the inside (10) of the said casing (3) and one outlet (25) of which is connected to the vacuum pump (17), the measurement pipe (21) further being connected to the particles meter (19) in order to place the inside (10) of the casing of the transport enclosure (3) coupled to the said measurement section in communication with the particles meter (19). The invention also relates to a method for measuring the contamination with particles of a transport enclosure used for the atmospheric storage and carriage of semiconductor substrates.
(FR)L'invention concerne une station de mesure de la contamination tin particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi- conducteurs, ladite enceinte comprenant une enveloppe obrurable par une porte d'accès amovible, ladite station comportant : une interface (5) susceptible de ^accoupler à une enveloppe d'une enceinte de transport: (3), à la place de ladite porte, l´interface (5) comportant au moins une buse d'injection (9) disposée à un Extrémité mobile d'un tuyau saillant de ladite interface pour diriger un jet de gaz dam une direction perpendiculaire à une portion de paroi (13) à l'intérieur (10) de ladite enveloppe accouplée à ladite station de mesure, de manière â détacher des particules (1 1) de ladite enveloppe (3) par l'impact du jet de gaz sur ladite paroi (13) et, un dispositif de mesure (7) comportant une pompe à vide (17), un compteur de particules (19) et une canalisation de mesure (21) dont une entrée (23) débouche â l´intérieur (10) de ladite enveloppe (3) et dont une sortie (25) est raccordée à la pompe à vide (17), la canalisation de mesure (21) étant en outre raccordée au compteur de particules (19), pour mettre, en communication l'intérieur (10) de l'enveloppe de lénceinteαπte de transport (3) accouplée à ladite section de mesure avec Ie compteur de particules (19). L'invention concerne également un procédé de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage en Je stockage atmosphérique de substrats semi- conducteurs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)