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1. (WO2009138162) APPAREIL DE CONTRÔLE POUR LITHOGRAPHIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/138162    N° de la demande internationale :    PCT/EP2009/003051
Date de publication : 19.11.2009 Date de dépôt international : 27.04.2009
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G01N 21/21 (2006.01), G01N 21/27 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; De Run 6501 NL-5504 DR Veldhoven (NL) (Tous Sauf US).
VAN DE KERKHOF, Marcus, Adrianus [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : VAN DE KERKHOF, Marcus, Adrianus; (NL)
Mandataire : VAN DEN HOOVEN, Jan; ASML Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/071,673 12.05.2008 US
Titre (EN) INSPECTION APPARATUS FOR LITHOGRAPHY
(FR) APPAREIL DE CONTRÔLE POUR LITHOGRAPHIE
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to detecting targets located within patterns. The invention operates in the pupil plane by filtering the fourier transform from the surrounding pattern. In particular the method includes performing a fourier transform on reflected radiation data to form fourier transform data; removing portions of the fourier transform data which correspond to the target to form reduced fourier transform data; interpolating the portions of the reduced fourier transform data which were removed, to form product fourier transform data; and subtracting the product fourier transform data from the fourier transform data.
(FR)L'invention concerne la détection de cibles situées au sein de motifs. L’invention fonctionne dans le plan de la pupille en filtrant la transformée de Fourier du motif environnant. En particulier, le procédé comporte les étapes consistant à effectuer une transformation de Fourier sur des données de rayonnement réfléchi pour former des données de transformée de Fourier; à éliminer des parties des données de transformée de Fourier qui correspondent à la cible pour former des données réduites de transformée de Fourier; à interpoler les parties des données réduites de transformée de Fourier qui ont été éliminées, pour former des données de transformée de Fourier résultant d’un produit; et à soustraire les données de transformée de Fourier résultant du produit des données de transformée de Fourier.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)