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1. (WO2009138053) PROCÉDÉ D’ÉTALONNAGE D’UN APPAREIL SERVANT À MESURER L’ÉPAISSEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/138053    N° de la demande internationale :    PCT/DE2009/000517
Date de publication : 19.11.2009 Date de dépôt international : 21.04.2009
CIB :
G01B 21/04 (2006.01), G01B 21/08 (2006.01)
Déposants : MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GMBH & CO. KG [DE/DE]; Königbacher Strasse 15 94496 Ortenburg (DE) (Tous Sauf US).
SCHALLMOSER, Günter [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
WISSPEINTNER, Karl [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
WAGNER, Robert [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : SCHALLMOSER, Günter; (DE).
WISSPEINTNER, Karl; (DE).
WAGNER, Robert; (DE)
Mandataire : ULLRICH & NAUMANN; Schneidmühlstrasse 21 69115 Heidelberg (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2008 023 987.9 16.05.2008 DE
10 2009 011 122.0 03.03.2009 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINER DICKENMESSEINRICHTUNG
(EN) METHOD FOR CALIBRATING A THICKNESS GAUGE
(FR) PROCÉDÉ D’ÉTALONNAGE D’UN APPAREIL SERVANT À MESURER L’ÉPAISSEUR
Abrégé : front page image
(DE)Ein Verfahren zum Kalibrieren einer Dickenmesseinrichtung, wobei die Dickenmesseinrichtung die Dicke eines Messobjekts in einer vorgebbaren Messrichtung (Z) misst, mit mindestens einem berührungslos oder tastend arbeitenden Wegmesssensor (1, 2), wobei ein Referenzobjekt (3) mit bekannter Dicke und Form in zumindest einen Teilbereich des Messfelds des mindestens einen Wegmesssensors (1, 2) verbracht wird, weist im Hinblick auf eine besonders genaue und einfache Kalibrierung die folgenden Verfahrensschritte auf. Zunächst erfolgt ein Aufnehmen mindestens zweier unabhängiger Messwerte durch den mindestens einen Wegmesssensor (1, 2) an mindestens zwei vorgebbaren Orten auf einer ersten Oberfläche des Referenzobjekts (3) zu vorgebbaren Zeitpunkten tj oder in Abhängigkeit von vorgebbaren Positionen Pj des Referenzobjekts (3) im Messfeld, wobei j = 1, 2 Dann erfolgt ein Feststellen der Verkippung oder räumlichen Lage des Referenzobjekts im Messfeld aus den aufgenommenen Messwerten zu den Zeitpunkten tj oder in Abhängigkeit von den Positionen pj des Referenzobjekts (3). Dann erfolgt ein Aufnehmen eines weiteren Messwerts durch den mindestens einen Wegmesssensor (1, 2) an einem in der Messrichtung (Z) gelegenen weiteren Ort auf einer der ersten Oberfläche entgegengesetzten zweiten Oberfläche oder auf einem der ersten Oberfläche entgegengesetzten Oberflächenbereich des Referenzobjekts (3), um einen Dickenwert des Referenzobjekts (3) in der Messrichtung (Z) zu ermitteln. Dann erfolgt ein Berechnen des Dickenwerts des Referenzobjekts (3) aus den Messwerten des mindestens einen Wegmesssensors (1, 2) zu den Zeitpunkten tj oder in den Positionen pf in der Messrichtung (Z). Schließlich erfolgt ein Berechnen der Differenz zwischen dem berechneten Dickenwert und der bekannten Dicke des Referenzobjekts (3) zum Erhalt von positions- und verkippungs- oder lageabhängigen Korrekturwerten in dem Teilbereich oder Messfeld, um bei einer Dickenmessung geometrische Fehler und/oder Unlinearitäten des mindestens einen Wegmesssensors (1, 2) in dem Teilbereich oder Messfeld kompensieren zu können.
(EN)A method for calibrating a thickness gauge, wherein the thickness gauge measures the thickness of a measurement object in a predefinable measuring direction (Z), comprising at least one displacement sensor (1, 2) operating in a contactless or scanning manner, wherein a reference object (3) having a known thickness and shape is moved into at least a partial region of the measurement field of the at least one displacement sensor (1, 2), comprises the following steps with respect to particularly precise and simple calibration.  First, at least two independent measurement values are recorded by the at least one displacement sensor (1, 2) in at least two predefinable sites on a first surface of the reference object (3) at predefinable times tj, or as a function of predefinable positions pj of the reference object (3) in the measurement field, where j = 1, 2... Then the tilting or spatial position of the reference object in the measurement field is determined based on the measurement values recorded at the times tj, or as a function of the positions pj of the reference object (3). Then, a further measurement value is recorded by the at least one displacement sensor (1, 2) at a further site located in the measuring direction (Z) on a second surface disposed opposite the first surface, or on a surface region of the reference object (3) disposed opposite the first surface, in order to determine a thickness value of the reference object (3) in the measuring direction (Z). Then, the thickness value of the reference object (3) is calculated from the measurement values of the at least one displacement sensor (1, 2) at the times tj or in the positions pj in the measuring direction (Z). Finally, the difference between the calculated thickness value and the known thickness of the reference object (3) is calculated in order to obtain position and tilt or location-dependent corrective values in the partial region or measurement field, in order to compensate for geometric errors and/or non-linearities of the at least one displacement sensor (1, 2) in the partial region or measurement field during thickness measurement.
(FR)L’invention concerne un procédé d’étalonnage d’un appareil servant à mesurer l’épaisseur selon lequel l’appareil servant à mesurer l’épaisseur mesure l’épaisseur d’un objet à mesurer dans un sens de mesure prédéfinissable (Z) avec au moins un capteur de mesure de déplacement (1, 2) fonctionnant sans contact ou par contact. Un objet de référence (3) d’une épaisseur et d’une forme connues est amené dans au moins une zone partielle du champ de mesure dudit au moins un capteur de mesure de déplacement (1, 2). Le procédé comprend, en vue d’un étalonnage particulièrement précis et simple, les étapes suivantes. Tout d’abord un enregistrement d’au moins deux valeurs de mesure indépendantes est effectué par ledit au moins un capteur de mesure de déplacement (1, 2) en au moins deux endroits prédéfinissables sur une première surface de l’objet de référence (3) à des moments tj prédéfinissables ou en fonction de positions Pj prédéfinissables de l’objet de référence (3) dans le champ de mesure, j étant = 1, 2.  Puis, l’inclinaison  ou l’orientation spatiale de l’objet de référence dans le champ de mesure est déterminée à partir des valeurs de mesure enregistrées aux moments tj ou en fonction des positions Pj de l’objet de référence (3). Ensuite, un enregistrement d’une autre valeur de mesure est effectué par ledit au moins un capteur de mesure de déplacement (1, 2) à un autre endroit dans le sens de mesure (Z) sur une deuxième surface opposée à la première surface ou sur une zone de surface de l’objet de référence (3) opposée à la première surface pour déterminer une valeur d’épaisseur de l’objet de référence (3) dans le sens de mesure (Z). Un calcul de la valeur d’épaisseur de l’objet de référence (3) est alors effectué à partir des valeurs mesurées par ledit au moins un capteur de mesure de déplacement (1, 2) aux moments tj ou dans les positions Pj dans le sens de mesure (Z). Finalement un calcul de la différence entre la valeur d’épaisseur calculée et l’épaisseur connue de l’objet de référence (3) est effectué pour obtenir des valeur de correction dépendant de la position, de l’inclinaison et de l’orientation dans la zone partielle ou le champ de mesure pour pouvoir compenser, lors d’une mesure d’épaisseur, des erreurs géométriques et/ou des non-linéarités dudit au moins un capteur de mesure de déplacement (1, 2) dans la zone partielle ou le champ de mesure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)