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1. (WO2009137706) SPECTROSCOPIE DIFFÉRENTIELLE IN SITU
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/137706    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/043185
Date de publication : 12.11.2009 Date de dépôt international : 07.05.2009
CIB :
G01J 3/00 (2006.01), G01J 3/42 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; KLA -Tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US) (Tous Sauf US).
VAEZ-IRAVANI, Mehdi [US/US]; (US) (US Seulement).
NASSER GHODSI, Mehran [US/US]; (US) (US Seulement).
ZHAO, Guoheng [CN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : VAEZ-IRAVANI, Mehdi; (US).
NASSER GHODSI, Mehran; (US).
ZHAO, Guoheng; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; (US)
Données relatives à la priorité :
61/051,368 08.05.2008 US
12/351,215 09.01.2009 US
Titre (EN) IN-SITU DIFFERENTIAL SPECTROSCOPY
(FR) SPECTROSCOPIE DIFFÉRENTIELLE IN SITU
Abrégé : front page image
(EN)A spectrometer having an electron beam generator for generating an electron beam that is directed at a sample. An electron beam positioner directs the electron beam onto a position of the sample, and thereby produces a secondary emitted stream from the sample, where the secondary emitted stream includes at least one of electrons and x-rays. An secondary emitted stream positioner positions the secondary emitted stream onto a detector array, which receives the secondary emitted stream and detects both the amounts and the received positions of the secondary emitted stream. A modulator modulates the electron beam that is directed onto the sample, and thereby sweeps the electron beam between a first position and a second position on the sample. An extractor is in signal communication with both the modulator and the detector array.
(FR)L’invention concerne un spectromètre qui présente un générateur de faisceau électronique pour générer un faisceau électronique qui est dirigé sur un échantillon. Un positionneur de faisceau électronique dirige le faisceau électronique sur une position de l’échantillon, et produit ainsi un flux émis secondaire à partir de l’échantillon, le flux émis secondaire comprenant des électrons et/ou des rayons X. Un positionneur de flux émis secondaire positionne le flux émis secondaire sur un réseau de détecteur, qui reçoit le flux émis secondaire et détecte à la fois les quantités et les positions reçues du flux émis secondaire. Un modulateur module le faisceau électronique qui est dirigé sur l’échantillon et balaie ainsi le faisceau électronique entre une première position et une seconde position sur l’échantillon. Un extracteur est en communication de signal avec à la fois le modulateur et le réseau de détecteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)