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1. (WO2009137447) SYSTÈME D’ÉVACUATION AVEC EXTRACTION DE DÉBRIS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/137447    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/042796
Date de publication : 12.11.2009 Date de dépôt international : 05.05.2009
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 31/042 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
JOHNSTON, Benjamin [US/US]; (US) (US Seulement).
KURITA, Shinichi [JP/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : JOHNSTON, Benjamin; (US).
KURITA, Shinichi; (US)
Mandataire : MCMASTER, Mark, T.; Townsend And Townsend And Crew LLP Two Embarcadero Center, 8th Floor San Francisco, CA 94111 (US)
Données relatives à la priorité :
61/050,944 06.05.2008 US
Titre (EN) DEBRIS-EXTRACTION EXHAUST SYSTEM
(FR) SYSTÈME D’ÉVACUATION AVEC EXTRACTION DE DÉBRIS
Abrégé : front page image
(EN)Systems and methods for debris extraction reduce the lifting force on a workpiece (104) through a supply air feature. The supply air feature can be implemented through an extraction nozzle (116), which has an outer supply duct (122) surrounding an inner exhaust duct (120). Further reduction of the lifting force can be realized through the use of multiple extraction nozzles (116) which limit exhaust airflow to areas of the workpiece (104) with active laser scribing.
(FR)L’invention concerne des systèmes et des procédés d’extraction de débris qui permettent de réduire la force de levage sur une pièce à usiner (104) grâce à un système d’air d’alimentation. Le système d’air d’alimentation peut être mis en œuvre sous forme d’une buse d’extraction (116) qui comprend un conduit d’alimentation externe (122) entourant un conduit d’évacuation interne (120). La force de levage peut encore être réduite en utilisant de multiples buses d’extraction (116) qui limitent le flux d’air sortant vers les zones de la pièce à usiner (104) où est réalisé un traçage laser actif.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)