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1. (WO2009137405) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE DE RÉACTEUR À PLASMA À ALIMENTATION RF COAXIALE ET TRANSMISSION DE COURANT ALTERNATIF DE CHAUFFAGE MULTIZONE À TRAVERS L'ALIMENTATION COAXIALE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/137405    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/042713
Date de publication : 12.11.2009 Date de dépôt international : 04.05.2009
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), H05H 1/34 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : WILLWERTH, Michael, D.; (US).
PALAGASHVILI, David; (US).
HATCHER, Brian, K.; (US).
PATERSON, Alexander, M.; (US).
BUCHBERGER JR., Douglas, A.; (US)
Mandataire : WALLACE, Robert, M.; (US)
Données relatives à la priorité :
12/142,640 19.06.2008 US
61/126,611 05.05.2008 US
Titre (EN) PLASMA REACTOR ELECTROSTATIC CHUCK HAVING A COAXIAL RF FEED AND MULTIZONE AC HEATER POWER TRANSMISSION THROUGH THE COAXIAL FEED
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE DE RÉACTEUR À PLASMA À ALIMENTATION RF COAXIALE ET TRANSMISSION DE COURANT ALTERNATIF DE CHAUFFAGE MULTIZONE À TRAVERS L'ALIMENTATION COAXIALE
Abrégé : front page image
(EN)A workplace support pedestal includes an insulating puck having a workpiece support surface, a conductive plate underlying the puck, the puck containing electrical utilities anά thermal media channels, and an axialIy translatable coaxial RF path assembly underlying the conductive plate, The coaxial RF path assembly includes a center conductor, a grounded outer conductor and a tubular insulator separating the center and outer conductors, whereby the puck, plate and coaxial RF path assembly comprise a movable assembly whose axial movement is controlled by a lift servo. Plural conduits extend axialIy through the center conductor and are coupled, to the thermal media utilities. Plural electrical conductors extend axially through the tubular insulator and are connected to the electrical utilities.
(FR)Selon l’invention, un socle-support de travail comporte une platine circulaire isolante munie d'une face support de pièce, une plaque conductrice située sous la platine, la platine contenant des lignes d'alimentation électrique et des canalisations de fluides thermiques, et un ensemble d'alimentation RF coaxiale mobile selon l'axe situé sous la plaque conductrice. L'ensemble d'alimentation RF coaxiale renferme un conducteur central, un conducteur externe mis à la terre et un isolateur tubulaire séparant les conducteurs central et externe, la platine, la plaque et l'ensemble d'alimentation RF coaxiale formant un ensemble mobile dont le mouvement axial est contrôlé par un servomécanisme de levage. Plusieurs conduits s'étendent dans la direction axiale à travers le conducteur central et sont reliés aux canalisations de distribution de fluides thermiques. Plusieurs conducteurs électriques s'étendent dans la direction axiale à travers l'isolateur tubulaire et sont reliés aux lignes de distribution électrique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)