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1. (WO2009137032) OUTILS ET PROCÉDÉS POUR TRAITER DES PIÈCES DE FABRICATION MICROÉLECTRONIQUES EN UTILISANT DES CONCEPTIONS DE CHAMBRE DE TRAITEMENT FAISANT FACILEMENT LA TRANSITION ENTRE LES MODES DE FONCTIONNEMENT OUVERT ET FERMÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/137032    N° de la demande internationale :    PCT/US2009/002768
Date de publication : 12.11.2009 Date de dépôt international : 05.05.2009
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : FSI INTERNATIONAL, INC. [US/US]; 3455 Lyman Boulevard Chaska, MN 55318 (US) (Tous Sauf US).
LAUERHAAS, Jeffrey, M. [US/US]; (US) (US Seulement).
COLLINS, Jimmy, D. [US/US]; (US) (US Seulement).
GAST, Tracy, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
ROSE, Alan, D. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LAUERHAAS, Jeffrey, M.; (US).
COLLINS, Jimmy, D.; (US).
GAST, Tracy, A.; (US).
ROSE, Alan, D.; (US)
Mandataire : KAGAN, David, B.; (US)
Données relatives à la priorité :
61/127,129 09.05.2008 US
Titre (EN) TOOLS AND METHODS FOR PROCESSING MICROELECTRONIC WORKPIECES USING PROCESS CHAMBER DESIGNS THAT EASILY TRANSITION BETWEEN OPEN AND CLOSED MODES OF OPERATION
(FR) OUTILS ET PROCÉDÉS POUR TRAITER DES PIÈCES DE FABRICATION MICROÉLECTRONIQUES EN UTILISANT DES CONCEPTIONS DE CHAMBRE DE TRAITEMENT FAISANT FACILEMENT LA TRANSITION ENTRE LES MODES DE FONCTIONNEMENT OUVERT ET FERMÉ
Abrégé : front page image
(EN)Strategies for tool designs and their uses wherein the tools can operate in either closed or open modes of operation. The tools easily transition between open and closed modes on demand. According to one general strategy, environmentally controlled pathway(s) couple the ambient to one or more process chambers. Air amplification capabilities upstream from the process chamber(s) allow substantial flows of air to be introduced into the process chamber(s) on demand. Alternatively, the fluid pathways are easily closed, such as by simple valve actuation, to block egress to the ambient through these pathways. Alternative flows of nonambient fluids can then be introduced into the process chamber(s) via pathways that are at least partially in common with the pathways used for ambient air introduction. In other strategies, gap(s) between moveable components are sealed at least with flowing gas curtains rather than by relying only upon direct physical contact for sealing.
(FR)L'invention concerne des stratégies pour les conceptions d'outillage et leur utilisation, les outils pouvant fonctionner dans des modes de fonctionnement fermé ou ouvert. Les outils font facilement la transition entre les modes ouvert et fermé à la demande. Selon une stratégie générale, un ou plusieurs trajets contrôlés de manière environnementale couplent l'air ambiant à une ou plusieurs chambres de traitement. Les capacités d'amplification d'air en amont de la ou des chambres de traitement permettent d'introduire des flux d'air substantiels dans la ou les chambres de traitement à la demande. En variante, les trajets de fluide sont facilement fermés, comme par un simple actionnement de soupape, pour bloquer l'entrée de l'air ambiant à travers ces trajets. En variante, des flux de fluides non ambiants peuvent ensuite être introduits dans la ou les chambres de traitement par l'intermédiaire des trajets qui sont au moins partiellement en commun avec les trajets utilisés pour l'introduction de l'air ambiant. Dans d'autres stratégies, le ou les espaces entre les composants mobiles sont fermés au moins avec des rideaux de gaz s'écoulant, au lieu de compter seulement sur un contact physique direct pour l'étanchéité.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)