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1. (WO2009134211) FILM BARRIÈRE GRADUÉ MINÉRAL ET SES PROCÉDÉS DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/134211    N° de la demande internationale :    PCT/SG2009/000154
Date de publication : 05.11.2009 Date de dépôt international : 28.04.2009
CIB :
B32B 15/01 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/35 (2006.01), C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), H01L 21/203 (2006.01)
Déposants : AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH [SG/SG]; 1 Fusionopolis Way #20-10 Connexis Singapore 138632 (SG) (Tous Sauf US).
RAMADAS, Senthil Kumar [SG/SG]; (SG) (US Seulement).
SHWE, Zin Ma [MM/SG]; (SG) (US Seulement)
Inventeurs : RAMADAS, Senthil Kumar; (SG).
SHWE, Zin Ma; (SG)
Mandataire : SCHIWECK, Wolfram; (SG)
Données relatives à la priorité :
61/048,822 29.04.2008 US
Titre (EN) INORGANIC GRADED BARRIER FILM AND METHODS FOR THEIR MANUFACTURE
(FR) FILM BARRIÈRE GRADUÉ MINÉRAL ET SES PROCÉDÉS DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)The present invention refers to a graded barrier film comprising a layered structure, wherein the layered structure comprises a first layer consisting of metal oxide; an intermediate layer consisting of metal nitride or metal oxynitride which is arranged on the first layer; and a third layer consisting of a metal oxide which is arranged on the intermediate layer. The present invention further refers to a sputtering method for manufacturing this graded barrier film and a device encapsulated with this graded barrier film.
(FR)La présente invention porte sur un film barrière gradué qui comporte une structure stratifiée, la structure stratifiée comportant une première couche consistant en un oxyde de métal ; une couche intermédiaire consistant en nitrure de métal ou oxynitrure de métal qui est agencée sur la première couche, et une troisième couche consistant en un oxyde de métal qui est agencée sur la couche intermédiaire. La présente invention porte en outre sur un procédé de pulvérisation cathodique pour fabriquer ce film barrière gradué et sur un dispositif encapsulé dans ce film barrière gradué.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)