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1. (WO2009134041) ÉVAPORATEUR ET APPAREIL DE DÉPÔT SOUS VIDE MUNI DE CELUI-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/134041    N° de la demande internationale :    PCT/KR2009/002185
Date de publication : 05.11.2009 Date de dépôt international : 27.04.2009
CIB :
C23C 14/24 (2006.01)
Déposants : SUNIC SYSTEM. LTD. [KR/KR]; 333-1, Woncheon-Dong Yeongtong-Gu Suwon-Si, Gyeonggi-Do 443-822 (KR) (Tous Sauf US).
KIM, Jong Woon [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
LEE, Jae Seung [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
CHA, Dong Il [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
KIM, Sun Hyuk [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
HWANG, In Ho [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : KIM, Jong Woon; (KR).
LEE, Jae Seung; (KR).
CHA, Dong Il; (KR).
KIM, Sun Hyuk; (KR).
HWANG, In Ho; (KR)
Mandataire : NAM, Seung-Hee; (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2008-0039841 29.04.2008 KR
10-2009-0026559 27.03.2009 KR
Titre (EN) EVAPORATOR AND VACUUM DEPOSITION APPARATUS HAVING THE SAME
(FR) ÉVAPORATEUR ET APPAREIL DE DÉPÔT SOUS VIDE MUNI DE CELUI-CI
Abrégé : front page image
(EN)Provided are an evaporator for fabricating an organic light emitting device, and a vacuum deposition apparatus including the evaporator. The evaporator includes a pot storing organic matter, a pot cover covering an opening of the pot, and evaporation outlets spaced apart from each other to evaporate the organic matter. The evaporator further includes a shield plate disposed over the pot cover and preventing heat radiation, and a heating member preventing the clogging of the evaporation outlets between the pot cover and the shield plate. The evaporation outlets, evaporating organic matter, are different from each other in length to improve the uniformity of a deposited thin film and prevent the loss of the organic matter. The shield plate, preventing heat radiation to a substrate, protects the substrate or a thin film on the substrate from thermal damage.
(FR)L'invention concerne un évaporateur destiné à façonner un dispositif électroluminescent organique, ainsi qu’un appareil de dépôt sous vide comprenant ledit évaporateur. L’évaporateur comprend un bac renfermant de la matière organique, un couvercle de bac recouvrant une ouverture du bac, et des sorties d’évaporation espacées les unes par rapport aux autres et servant à faire s’évaporer la matière organique. L’évaporateur comprend en outre une plaque-écran disposée au-dessus du couvercle du bac et bloquant  le rayonnement thermique, ainsi qu’un élément chauffant empêchant l’encrassement des sorties d’évaporation entre le couvercle du bac et la plaque-écran. Les sorties d’évaporation, par lesquelles s’évapore de la matière organique, diffèrent les unes des autres par leur longueur afin d’améliorer l’uniformité d’un film mince déposé et d’empêcher la perte de matière organique. La plaque-écran, bloquant le rayonnement thermique vers un substrat, protège celui-ci ou un film mince placé sur le substrat de dégâts dus à la chaleur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)