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1. (WO2009134006) DOUBLE BRAS ROBOTIQUE À EMPILEMENT ET FONCTIONNEMENT INDÉPENDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/134006    N° de la demande internationale :    PCT/KR2009/000643
Date de publication : 05.11.2009 Date de dépôt international : 11.02.2009
CIB :
H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : CYMECHS INC. [KR/KR]; 6th Fl., Induspia 138-6 Sangdaewond-dong, Jungwon-gu Seongnam-si, Gyeonggi-do 462-713 (KR) (Tous Sauf US).
CHOI, Hyung Sub [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : CHOI, Hyung Sub; (KR)
Mandataire : OH, Young-Kyun; (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2008-0039306 28.04.2008 KR
Titre (EN) INDEPENDENTLY OPERATING STACKED ROBOTIC DUAL ARM
(FR) DOUBLE BRAS ROBOTIQUE À EMPILEMENT ET FONCTIONNEMENT INDÉPENDANT
(KO) 독립적으로 구동하는 적층식 이중 아암 로봇
Abrégé : front page image
(EN)The present invention concerns a robot which transfers a semiconductor wafer inside a vacuum chamber. It comprises a fixture, a movable unit, and primary and secondary arm units. The lower part of a rotary screw is anchored in the center of the fixture. The upper part of the rotary screw is inserted in the lower center of the movable unit which reciprocates within a certain distance according to rotation of the rotary screw, wherein primary upper and lower shafts and secondary upper and lower shafts are stacked. The outer circumference of each shaft rotates independently. In the movable unit, the primary and secondary arm units are stacked on top thereof and rotate independently according to rotation of the primary and secondary shafts. According to the present invention, backlash is compensated because a lower gear which transmits the driving force for the robotic arm and an upper gear which applies force in the opposite directions of the lower gear’s rotation are spring-engaged and used as a driving gear. Furthermore, this invention is able to operate independently because the shafts capable of rotating independently are vertically stacked and the arms are stacked thereon, thereby the driving force is transmitted to the arms.
(FR)L'invention porte sur un robot destiné à transférer une tranche semiconductrice à l'intérieur d'une chambre à vide. Le robot précité comprend un bâti, une unité mobile et des unités bras primaire et secondaire. La partie inférieure d'une vis est ancrée au centre du bâti. La partie supérieure de la vis est insérée dans le centre inférieur de l'unité mobile qui effectue un mouvement de va-et-vient dans les limites d'une certaine distance en fonction de la rotation de la vis, les axes supérieur et inférieur primaires et les axes supérieur et inférieur secondaires étant empilés l'un sur l'autre. La circonférence externe de chaque axe tourne de manière indépendante. Dans l'unité mobile, les unités bras primaire et secondaire sont empilées l'une sur l'autre et tournent indépendamment en fonction de la rotation des axes primaires et secondaires. L'invention permet de compenser le jeu en solidarisant par ressort et en utilisant comme roue d'entraînement une roue inférieure qui transmet la force d'entraînement au bras robotique et une roue supérieure qui applique la force dans un sens opposé à celui la rotation de la roue inférieure. Le fonctionnement indépendant est garanti par le fait que les axes capables de tourner indépendamment l'un de l'autre sont empilés verticalement et que les bras sont empilés sur les axes, ce qui fait que la force d'entraînement est transmise aux bras.
(KO)본 발명은 반도체 웨이퍼를 진공 상태의 챔버 내부에서 이송시키기 위한 로봇으로서, 그 중앙부를 회전스크루의 하부가 관통하여 결합하는 고정부, 그 하부 중앙부에 회전스크루의 상부가 삽입되고, 회전스크루가 회전함에 따라 일정 거리를 왕복 이동하며, 그 외주면은 각각 독립적으로 회전하는 제1상부샤프트, 제1하부샤프트, 제2상부샤프트 및 제2하부샤프트가 적층되는 이동부 및 이동부의 상부에 적층되며, 제1상부샤프트, 제1하부샤프트, 제2상부샤프트 및 제2하부샤프트가 회전함에 따라 각각 독립적으로 구동하는 제1아암부 및 제2아암부를 포함한다. 본 발명에 따르면, 아암 로봇을 구동시키기 위해 구동력을 전달하는 하측 기어와 하측 기어의 구동 방향과 반대로 힘을 가하는 상측 기어를 스프링으로 결합하여 구동 기어로 이용함으로써 백래쉬를 보상할 수 있으며, 독립적으로 회전할 수 있는 샤프트를 종축 방향으로 적층하고, 아암을 샤프트에 적층하여 아암에 구동력을 전달함으로써 독립적으로 구동하는 적층식 이중 아암 로봇을 제공할 수 있다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)