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1. (WO2009133841) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM D'Al RÉACTIF À L'EAU ET ÉLÉMENT STRUCTURAL POUR CHAMBRE DE FORMATION DE FILM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/133841    N° de la demande internationale :    PCT/JP2009/058260
Date de publication : 05.11.2009 Date de dépôt international : 27.04.2009
CIB :
C23C 4/06 (2006.01), C22C 21/00 (2006.01), C23C 14/00 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
KADOWAKI Yutaka [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SAITOU Tomoko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
LIM Keng Weng [SG/JP]; (JP) (US Seulement).
MUSHIAKE Katsuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KADOWAKI Yutaka; (JP).
SAITOU Tomoko; (JP).
LIM Keng Weng; (JP).
MUSHIAKE Katsuhiko; (JP)
Mandataire : KURIHARA Hiroyuki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2008-118856 30.04.2008 JP
Titre (EN) METHOD FOR PRODUCTION OF WATER-REACTIVE Al FILM, AND STRUCTURAL MEMBER FOR FILM-FORMING CHAMBER
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM D'Al RÉACTIF À L'EAU ET ÉLÉMENT STRUCTURAL POUR CHAMBRE DE FORMATION DE FILM
(JA) 水反応性Al膜の製造方法及び成膜室用構成部材
Abrégé : front page image
(EN)A water-reactive Al film having In dispersed homogeneously in Al crystal particles can be produced by melting a material comprising 4NAI or 5NAI and In in an amount of 2 to 5 wt% relative to the amount of Al until the material becomes homogeneous in composition, and rapidly solidifying the molten material by an arc spraying method in which the molten material is sprayed on the surface of a base material by using Ar as a blowing gas.  A structural member for a film-forming chamber comprises the water-reactive Al film on its surface.
(FR)L'invention concerne un film d'Al réactif à l'eau renfermant de l'In dispersé de manière homogène dans des particules de cristal d'Al, lequel film peut être produit par fusion d'un matériau comprenant du 4NAI ou du 5NAI et de l'In en proportion comprise entre 2 et 5% en poids de la quantité d'Al jusqu'à ce que la composition du matériau devienne homogène, puis par solidification rapide du matériau fondu au moyen d'un procédé de pulvérisation à l'arc consistant à pulvériser le matériau fondu sur la surface d'un matériau de base par utilisation d'Ar comme gaz de soufflage. Un élément structural destiné à une chambre de formation de film comprend ce film d'Al réactif à l'eau sur sa surface.
(JA) 4NAl又は5NAlに、Al基準で、2~5wt%のInを添加した材料を組成が均一になるように溶融し、この溶融材料を、アーク溶射法により、吹き付けガスとしてArを用いて、基材表面に対して溶射して急冷凝固させることにより、Al結晶粒中にInが均一に分散してなる水反応性Al膜を製造する。この水反応性Al膜を表面に備えた成膜室用構成部材。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)